SiC čoln

Čolni Semicorex SiC so natančno izdelani iz SiC keramike visoke čistosti, materiala, ki je znan po svoji neprimerljivi toplotni stabilnosti, izjemni mehanski trdnosti in neomajni kemični inertnosti. Zaradi teh lastnosti je odlična izbira za stroge pogoje izdelave polprevodnikov.

Čolni SiC se ponašajo z neprimerljivo mehansko trdnostjo in vzdržljivostjo zaradi trdote materiala in izjemne odpornosti proti obrabi. To jim omogoča, da prenesejo zahtevno naravo visoko zmogljivih proizvodnih okolij polprevodnikov, ne da bi podlegli postopni obrabi. Za razliko od drugih materialov SiC skozi čas ohranja svojo strukturno celovitost, kar znatno zmanjša potrebo po pogostih zamenjavah in zmanjša čas izpadov v proizvodnih operacijah – kar na koncu vodi do znatnih prihrankov pri stroških za proizvajalce polprevodnikov.

Kemična inertnost SiC dodatno utrjuje njegovo primernost za polprevodniške postopke, saj je zelo odporen na kemične napade reaktivnih plinov in običajno uporabljenih materialov, kot sta klor in fluor. Ta robustna odpornost zagotavlja, da SiC čolni med obdelavo ne onesnažijo rezin, s čimer se ohranja čistost in kakovost polprevodniških naprav, ki se izdelujejo. Za postopke, ki zahtevajo še višjo stopnjo kemične odpornosti, lahko SiC čolne prevlečete z dodatno plastjo SiC, ki predstavlja dodatno oviro pred kemičnimi napadi in poviša površinsko obdelavo čolna, da se zmanjša tveganje kontaminacije z delci.

Visoka čistost SiC keramike, uporabljene v teh čolnih, je kritična, saj proizvodnja polprevodnikov zahteva materiale z minimalnimi nečistočami. Celo majhne količine kontaminantov lahko poslabšajo električne lastnosti rezin in povzročijo napake v končnih napravah. SiC čolni so izdelani iz SiC keramike ultra visoke čistosti, da zagotovijo, da ne vnašajo nečistoč v procesno okolje, tudi pri povišanih temperaturah in reaktivnih pogojih, značilnih za izdelavo polprevodnikov. Ta čistost utrjuje zanesljivost SiC čolnov za kritične procesne korake.

Združljivost SiC Boatov z različno polprevodniško opremo je najpomembnejša. Vsestranskost SiC-ja omogoča natančno strojno obdelavo, da se prilega posebnim dimenzijam in konfiguracijam, ki jih zahtevajo različne vrste polprevodniških peči in reaktorjev, zaradi česar so primerni za široko paleto aplikacij, od majhnih raziskovalnih in razvojnih operacij do velikih proizvodnih linij. Poleg tega izjemna toplotna prevodnost materiala in lastnosti odvajanja toplote prispevajo k učinkovitejšemu nadzoru temperature med obdelavo, kar še dodatno poveča zmogljivost in izkoristek polprevodniških naprav.