SIC DOLOČITEV

Nosilci polprevodnic SIC so natančne podporne naprave, ki so namenjene zadrževanju rezin med visokotemperaturnimi procesi v izdelavi polprevodnikov. Ta držala, narejena iz silicijevega karbida z visoko čistostjo (SIC), imajo odlično toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko togost, ki so bistvene značilnosti, kadar se uporabljajo v procesih, kot so difuzija, oksidacija in epitaksialna rast.

V zahtevnih polprevodniških okoljih je ključnega pomena zaščita celovitosti in zmanjšanja kontaminacije. Nosilci čolnov SiC ponujajo trdno, inertno platformo, ki lahko prenaša ekstremna peč, hkrati pa ohranja integriteto brez deformacije in brez sproščanja onesnaževalcev. Njihova kemična inerstnost omogoča njihovo uporabo z reaktivnimi procesnimi plini, medtem ko njihova toplotna prepustnost spodbuja celo ogrevanje površine rezin za dosledno obdelavo.

Vsak držalo za čoln SIC je izdelan z visoko toleranco za dimenzijsko natančnost, zaradi česar je enostavno prilagoditi in se prilagoditi poljubnemu tipu čolna in avtomatiziranih konfiguracijah obremenitve. Njihova toka struktura ne ustvarja le močno, stabilno in ustrezno podporo za rezine, ampak tudi zmanjša možnost mikro vibracij ali pozicijskih premikov na rezine. Poleg tega ima silicijev karbid odlično odpornost na obrabo in lahko obvlada večkratno toplotno kolesarjenje, da zagotovi dolgo življenjsko dobo, kar ima za posledico malo izpadov in zamenjavo viale.

Edinstveni atributi silicijevega karbida lahko dajo dodatne koristi v zvezi s čistostjo. Za razliko od kovin ali keramičnih materialov nižje stopnje, sic ne lupi, izumrla ali kemično razpade pri ekstremnih temperaturah ali v plazmi. Zaradi tega so držala za čoln odlično orodje za proizvajalce, ki poskušajo omejiti kontaminacijo čiste sobe za napredna polprevodniška vozlišča, ki zahtevajo visok donos in čistost.

Držala za polpredsednik SIC so proizvedena z edinstvenimi procesi oblikovanja in sintranja, ki zagotavljajo enakomerno mikrostrukturo in mehanske zmogljivosti med serijami in med več nosilci čolnov. Na primer, obliko držala ali konfiguracija reže je mogoče prilagoditi, pa tudi vrsta pritrditve.

Ne glede na to, ali se uporablja v navpičnih pečih ali vodoravnih reaktorjih, bo prilagajanje držala za polprevodnike polprevodnikov polprevodnika naslednje generacije izpolnjevalo tolerance. Če izberete izdelke Semicorex, boste vedeli, da ste sodelovali z dobaviteljem, ki je znan, posvečen materialni odličnosti in si prizadeva za nenehno inoviranje keramičnih komponent glede zanesljivosti in dostave.