Polprevodniški čoln z rezinami

Semicorex ponuja ladice za rezine, podstavke in nosilce za rezine po meri za navpične/stolpne in vodoravne konfiguracije. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš Semiconductor Wafer Boat ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex Semiconductor Wafer Boat je izdelan iz sintrane keramike iz silicijevega karbida, ki ima dobro odpornost proti koroziji in odlično odpornost na visoke temperature in toplotne šoke. Napredna keramika zagotavlja odlično toplotno odpornost in plazemsko obstojnost, hkrati pa blaži delce in onesnaževalce za visokozmogljive nosilce rezin.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih polprevodniških rezin, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem polprevodniškem čolnu.

Parametri polprevodniškega čolna z rezinami

Tehnične lastnosti
Kazalo	Enota	Vrednost
Ime materiala		Reakcijsko sintran silicijev karbid	Breztlačno sintran silicijev karbid	Rekristaliziran silicijev karbid
Sestava		RBSiC	SSiC	R-SiC
Nasipna gostota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Upogibna trdnost	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C)
Tlačna trdnost	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Trdota	Gumb	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Toplotna prevodnost	W/m.k	95	120	23
Koeficient toplotnega raztezanja	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifična toplota	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Največja temperatura v zraku	℃	1200	1500	1600
Modul elastičnosti	Gpa	360	410	240

Razlika med SSiC in RBSiC:

1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.

2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.

3. Različni časi uporabe pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC

Značilnosti polprevodniškega Wafer Boat

Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne prihaja do razpok in razslojevanja.