RTA SiC nosilci rezin

Hitro termično žarjenje je tehnika termične obdelave, ki se pogosto uporablja v proizvodnji polprevodnikov. Z uporabo halogenskih infrardečih žarnic kot vira toplote hitro segreje rezine ali polprevodniške materiale na temperature med 300 ℃ in 1200 ℃ z izjemno hitro hitrostjo segrevanja, čemur sledi hitro ohlajanje. Postopek hitrega termičnega žarjenja lahko odpravi preostale napetosti in napake znotraj rezin in polprevodniških materialov, s čimer se izboljša kakovost in zmogljivost materiala. Nosilci za rezine RTA SiC so nepogrešljiva nosilna komponenta, ki se pogosto uporablja v procesu RTA, ki lahko stabilno podpira rezine in polprevodniške materiale med delovanjem in zagotavlja dosleden učinek toplotne obdelave.

Prednosti nosilcev rezin Semicorex RTA SiC

1. Vrhunska mehanska trdnost in trdota

Nosilci za rezine Semicorex RTA SiC zagotavljajo odlično mehansko trdnost in trdoto ter so sposobni prenesti različne mehanske obremenitve v težkih RTA pogojih, medtem ko ostanejo dimenzijsko stabilni in vzdržljivi. Zaradi svoje odlične trdote je površina nosilcev rezin RTA SiC manj nagnjena k praskam, kar zagotavlja ravno, gladko podporno površino, ki učinkovito preprečuje poškodbe rezin zaradi prask nosilca.

2. Izjemna toplotna prevodnost

Nosilci rezin Semicorex RTA SiC imajo izjemno toplotno prevodnost, kar jim omogoča učinkovito razprševanje in prevajanje toplote. Zagotavljajo lahko natančen nadzor temperature med hitro termično obdelavo, kar znatno zmanjša tveganje toplotnih poškodb rezin in izboljša enakomernost in doslednost postopka žarjenja.

3. Izjemna toplotna stabilnost

Silicijev karbid ima tališče okoli 2700 °C in ohranja izjemno stabilnost pri stalnih delovnih temperaturah 1350–1600 °C. To daje SemicorexRTA SiC nosilci rezinvrhunska toplotna stabilnost za delovne pogoje RTA pri visokih temperaturah. Poleg tega se lahko nosilci rezin Semicorex RTA SiC s svojim nizkim koeficientom toplotnega raztezanja izognejo razpokanju ali poškodbam zaradi neenakomernega toplotnega raztezanja in krčenja med hitrimi cikli segrevanja in ohlajanja.

4. Odlična zmogljivost z nizko stopnjo kontaminacije

Izdelano iz skrbno izbranega materiala visoke čistostisilicijev karbid, Nosilci rezin Semicorex RTA SiC imajo nizko vsebnost nečistoč. Zahvaljujoč izjemni kemični odpornosti se nosilci rezin Semicorex RTA SiC lahko izognejo koroziji zaradi procesnih plinov med hitrim termičnim žarjenjem, s čimer zmanjšajo kontaminacijo rezin, ki jo povzročajo reaktanti, in izpolnjujejo stroge zahteve glede čistosti proizvodnih procesov polprevodnikov.