Robot End Effector

Semicorex je vodilni neodvisni proizvajalec grafita, prevlečenega s silicijevim karbidom, natančno strojno obdelanega grafita visoke čistosti, ki se osredotoča na področja proizvodnje polprevodnikov, prevlečena s silicijevim karbidom, keramiko iz silicijevega karbida in MOCVP. Naš robotski končni efektor ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Robot End Effector je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih. Robotski končni efektor mora biti dimenzijsko natančen in termično stabilen, hkrati pa mora imeti gladko površino, odporno proti obrabi, za varno rokovanje z rezinami, ne da bi poškodoval naprave ali povzročil onesnaženje z delci. Naš robotski končni efektor s prevleko iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost.

Parametri robotskega končnega efektorja

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300