Porozni sic vakuumski chuck

Poročni sic vakuumski Chuck predstavlja raztopino za rokovanje, namenjeno doseganju natančnega, stabilnega pozicioniranja rezin v vseh fazah predelave polprevodnikov. Ta vakuumski Chuck ima odličen oprijem za uporabo rezin in poravnave substrata, s čimer se poveča tako zanesljivost kot zmogljivost. Izbira osnovnega materiala - SUS430, aluminijasta zlitina 6061, gosta alumina keramika, granit in silicijev karbid keramika - uporabniško prilagodljivost za izbiro optimalnega materiala v skladu s posameznimi zahtevami pri toplotnih zmogljivostih, mehanskih lastnostih ali teži.

Boljša izbira materiala: dno poroznega sic vakuuma lahko spremenite z različnimi materiali, ki ustrezajo različnim potrebam:

• SUS430: Poceni možnost, ki se upira dobro za skupno uporabo.
• Aluminijasta zlitina 6061: daje mešanico moči, lahke teže in velike obdelovanja, zaradi česar je dobra za redno ravnanje z rezinami.
• Gosta alumina keramika (99% AL2O3): zagotavlja odlično toplotno stabilnost in visoko trdoto, primerno za visokotemperaturno ali natančno uporabo.
• Granit: Znan po svoji izjemni ravni in stabilnosti, granit zagotavlja nizko toplotno širitev, idealno za aplikacije, ki zahtevajo visoko natančnost.
• Keramika iz silicijevega karbida: znana po visoki toplotni prevodnosti, kemični odpornosti in trajnosti je SIC idealen za visokozmogljiva okolja, kjer se srečujejo ekstremni pogoji.

Visoka natančnost: porozni sic vakuumski chuck zagotavlja vrhunsko ravnost, natančnost pa se razlikuje glede na uporabljeni material. Uvrstitev materiala od najvišje do najnižje natančnosti je:

Granitna in silicijeva karbidna keramika: Oba materiala ponujata visoko natančnost, kar zagotavlja stabilnost rezin tudi v najzahtevnejših procesnih okoljih.

Gosta alumina (99% AL2O3): nekoliko manj ploščata v primerjavi z granitom in sic, vendar še vedno ponuja dobro natančnost za splošno uporabo polprevodnikov.

Aluminijeva zlitina 6061 in SUS430: Zagotovite nekoliko nižjo natančnost ravnenja, vendar sta še vedno zelo zanesljiva za ravnanje z rezinami v manj zahtevnih aplikacijah.

Spremembe teže za posebne potrebe: Porozni sic vakuumski Chuck uporabnikom omogoča izbiro med različnimi materialnimi možnostmi, ki temeljijo na zahtevah po teži:

Aluminijasta zlitina 6061: najlažja izbira materiala, ki ponuja enostavno ravnanje in prevoz.

Granit: težji osnovni material, ki zagotavlja visoko stabilnost in med obdelavo zmanjša vibracije.

Keramika iz silicijevega karbida: ima zmerno težo, ki ponuja ravnotežje trajnosti in toplotne prevodnosti.

Gosta alumina keramika: najtežja možnost, idealna za aplikacije, kjer sta prednostni stabilnost in visoka toplotna odpornost.

Visoka vzdržljivost in zmogljivost: Porozni sic vakuumski Chuck je zasnovan za dolgotrajne zmogljivosti, ki lahko vzdržijo ekstremne temperaturne razlike in obrabo, povezano s polprevodniško predelavo. Keramična varianta silicijevega karbida je še posebej koristna za visokotemperaturno in kemično agresivno okolje zaradi izjemne odpornosti na toplotno širitev in korozijo.

Stroškovno učinkovite rešitve: Pri več materialnih možnostih porozni sic vakuumski Chuck ponuja stroškovno učinkovito rešitev, ki jo je mogoče prilagoditi različnim proračunom in zahtevam za uporabo. Za splošne aplikacije sta aluminijasta zlitina in SUS430 stroškovno učinkovita, hkrati pa še vedno ponujata zadovoljive zmogljivosti. Za zahtevnejša okolja možnosti granitne ali sic keramike zagotavljajo večjo zmogljivost in trajnost.

Prijave:

Porozni sic vakuumski chuck se uporablja predvsem v polprevodniški industriji za ravnanje z rezinami, tudi v procesih, kot so:

• Narezanje in rezanje rezin
• Fotovoltaična proizvodnja
• MOCVD in CVD Epitaxy rast
• Ionska implantacija
• Procesi oksidacije in difuzije

Porozni sic vakuumski Chuck izstopa zaradi svoje natančnosti, vsestranskosti in trajnosti. Ne glede na to, ali potrebujete lahke rešitve za splošno ravnanje ali napredne materiale za visokozmogljive polprevodniške procese, naš izdelek ponuja široko paleto možnosti za zadovoljevanje vaših potreb. Naši vakuumski chucks, izdelani z najvišjimi standardi kakovosti, zagotavljajo zanesljivo in učinkovito ravnanje z rezinami za različne aplikacije, kar zagotavlja dosledne rezultate tako v standardnih kot specializiranih procesih.

Za industrije, kjer sta stabilnost in natančno ravnanje rezin ključnega pomena, porozni sic vakuumski chuck ponuja idealno rešitev. S svojo izbiro materialov, veliko natančnosti in vrhunsko trajnost je odlična izbira za široko paleto polprevodniških procesov.