Porozna sic plošča

Poročna sic Porous Sic je visokozmogljiv keramični material, zasnovan za napredne uporabe polprevodnikov in natančnosti. Ta plošča, zasnovana s fino nadzorovano porozno strukturo, ponuja izjemno mehansko trdnost, toplotno stabilnost in kemično odpornost, zaradi česar je idealna izbira za uporabo kot avakuumski chuckPri polprevodniških obdelavi.

Porozna sic plošča ima enotno poroznost in optimizirano prepustnost zraka in stabilno adsorpcijo tankih rezin, steklenih plošč in drugih občutljivih substratov, obdelana z natančnim sintranjem in oblikovanjem por. Skrbno nadzorovana porazdelitev velikosti por bo omogočila učinkovit sesanje vakuuma, medtem ko bosta njene strukturne sestavine skupaj držala do zadnjega atoma, kar bo praktično preprečilo deformacijo ali poškodbe materiala, namenjenega nadaljnjim obdelavi: rezine.

Odlična toplotna prevodnost naredi porozno sic plošča enega najboljših kandidatov za hitro odvajanje toplote z enakomerno porazdelitvijo temperature po površini. To postane pomembno v številnih vrstah proizvodnih procesov polprevodnikov za ohranjanje stabilnosti v toplotnih pogojih, ki se neposredno nanašajo na donos in kakovost izdelka. Prav tako silicijev karbid dobro predstavlja odpornost proti obrabi in sorazmerno visoka stopnja trdote, s čimer se daljša življenjska doba plošče, saj se površinska obraba in kontaminacija zavlečeta v veliko večji uporabi.

Kemična inertnost je še ena vitalna značilnost porozne sic plošče. Ima močno odpornost na kisline, alkalije in izpostavljenost v plazmi, zaradi česar je dobro primerna za ostro okolje znotraj izdelave polprevodnikov, kot so jedkanica, odlaganje in kemične predelave. Nereaktivna narava SIC preprečuje neželene kemijske interakcije, ohranja čistost predelanih materialov in povečuje zanesljivost proizvodnje.

Poleg tega lahka narava poroznega sic v kombinaciji s svojimi robustnimi mehanskimi lastnostmi olajša enostavno ravnanje in integracijo v natančne stroje. Koeficient nizke toplotne ekspanzije zagotavlja dimenzijsko stabilnost tudi pri ekstremnih temperaturnih nihanjih, kar zmanjšuje tveganje za upogibanje ali neskladje med delovanjem.

Porozna plošča SiC je mogoče prilagoditi tako, da ustreza določenim zahtevam uporabe, vključno z različicami poroznosti, debeline in površinske obdelave. Napredne tehnike obdelave in poliranja se lahko uporabijo za doseganje ultra-flat površin z minimalno hrapavostjo, kar še poveča njegovo delovanje kot vakuumski material.

Poročna silicijeva karbidna plošča je visoko specializirana keramična komponenta, ki ponuja kombinacijo visoke trdnosti, odlične toplotne in kemične stabilnosti ter vrhunske odpornosti na obrabo. Njegova edinstvena porozna struktura omogoča učinkovit sesanje vakuuma in zagotavlja varno ravnanje z rezinami v polprevodniških in natančnih industrijah. Kot rezultat, je bistveno gradivo za visoko natančne aplikacije, kjer so zmogljivosti, trajnost in zanesljivost najpomembnejše.