Porozni sic chuck

Poročni sic Chuck je keramični del, ki je bil sestavljen z natančnostjo za varno, učinkovito ravnanje z režami za rezine za polprevodniške aplikacije s postopnimi koraki, kot so inšpekcijski pregled, testiranje in litografija. Chuck je izdelan iz mikroporozne keramike iz silicijevega karbida (sic). SIC ima mehansko trdnost, kemično odpornost in lastnosti toplotne stabilnosti, potrebne za vrhunska proizvodna okolja polprevodnikov.

Bistvena značilnost poroznega sic Chucka je njegova edinstvena mikrostruktura, ki ima poroznost 35%-40%. S poroznostjo tesno nadzorovanega Chucka prekrivna zasnova omogoča, da se vakuumski sesanje enakomerno odpre po Chucku, ki ustvarja konstantno stabilno in nekontaktivno podporo za običajno občutljive rezine: silicij ali GAN in druge spojine polprevodnike.  Način sesanja vakuuma se izogne tako kontaminaciji delcev kot mehanskih poškodb, s čimer ohranja celovitost rezin med postopkom.

Keramično telo Chucka je predvsem visoko čistost, z drugimi keramiki, kot je glinica (AL2O3), ki se lahko uporablja za omejeno število funkcionalnih plasti, odvisno od uporabe. Raziskave in razvoj gradiva omogočata, da se velikost por in porazdelitev obvladujeta pri oblikovanju pretoka zraka in sile, odvisno od velikosti rezin in procesnih pogojev. Če je pomembno nadzorovati vakuum na tanjših rezinih, bo vključena manjša velikost por. Za hitrejše stopnje pretoka, kjer je to primerno, bo uporabljena večja velikost por.

Porozni sic Chucks kažejo barvno nihanje kot posledica spremenljivih velikosti por, keramičnih sestavkov in pogojev streljanja. Sic Chucks so ponavadi črni ali temno sivi, saj je barva silicijevega karbida siva ali črna, vendar so drobci z veliko vsebnostjo glinice ponavadi bele barve. Barvne odstopanja ne vplivajo na delovanje izdelka in predstavljajo le oblikovane lastnosti, ki so bile ustvarjene za posebne aplikacije, da bi izpolnjevale posebne potrebe strank.

V orodjih za obdelavo rezin višjega cenovnega razreda sta toplotna stabilnost in kemična inertnost dve najpomembnejši značilnosti. Silicijev karbid zagotavlja odlično odpornost na korozijske pline in toplotno kolesarjenje. Porozni sic Chuck uspešno deluje v vakuumskih komorah in orodjih za jedkanje v plazmi, še naprej pa se dobro obnese s hitro spreminjajočimi se temperaturami. Njihova sposobnost ohranjanja zatembilnosti nereda zagotavlja, da rezina ostane na istem mestu, čeprav so zahteve glede natančnosti lahko pod pod-mikronom, odvisno od postopka, ki prispeva k dimenzionalnemu stabilizaciji, zagotavlja natančnost.

Polmovni porozni sic chucks se naredijo z uporabo pooblaščenih postopkov oblikovanja in sintranja, ki zagotavljajo enakomerno poroznost, visoko upogibno moč in nizko toplotno ekspanzijo. Vsak chuck se pregleda glede strukture por, plovnosti in vakuumskih zmogljivosti, da se zagotovi zanesljiv in ponovljiv izdelek. Na voljo so tudi modeli po meri za sprejemanje posebnih velikosti rezin in zahtev za integracijo sistema, kot so kanali pretoka plina na strani zadnje strani ali funkcije pritrditve.

Za zaključek je porozni sic chuck visoko zanesljiv sistem za podporo substratu, ki je skrbno zasnovan za delo v povezavi z zahtevami za natančno obdelavo rezin. Z visoko sposobnostjo zadrževanja vakuuma, prilagodljivo strukturo por in izjemno materialno stabilnostjo je nepogrešljiv izdelek v današnjih polprevodniških linijah.