Fokusni obroč za obdelavo plazme

Fokusni obroč za plazemsko obdelavo Semicorex je posebej zasnovan za izpolnjevanje visokih zahtev obdelave s plazemskim jedkanjem v industriji polprevodnikov. Naše napredne komponente s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti so izdelane tako, da prenesejo ekstremna okolja in so primerne za uporabo v različnih aplikacijah, vključno s plastmi silicijevega karbida in epitaksijskimi polprevodniki.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš fokusni obroč za plazemsko obdelavo je zelo stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje, zaradi česar je idealna izbira za uporabo v komorah za plazemsko jedkanje (ali suho jedkanje). Naši obroči za fokusiranje ali robni obroči, zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda, so zasnovani za zmanjšanje kontaminacije in nenačrtovanega vzdrževanja.

Naša SiC prevleka je gosta, proti obrabi odporna prevleka iz silicijevega karbida z visoko odpornostjo proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnostjo. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). To zagotavlja, da imajo naši SiC Focus Rings vrhunsko kakovost in vzdržljivost, zaradi česar so zanesljiva izbira za vaše potrebe obdelave s plazemskim jedkanjem.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem fokusnem obroču za obdelavo plazme.

Parametri fokusnega obroča za obdelavo plazme

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti fokusnega obroča za obdelavo plazme

- CVD premazi iz silicijevega karbida za podaljšanje življenjske dobe.

- Toplotna izolacija iz visoko zmogljivega prečiščenega trdega ogljika.

- Grelec in plošča iz ogljika/ogljika. - Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

- Prevleka iz grafita visoke čistosti in SiC za odpornost proti luknjam in daljšo življenjsko dobo