Plošča za držalo satelita MOCVD

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate je izjemen nosilec, zasnovan za uporabo v industriji polprevodnikov. Zaradi visoke čistosti, odlične odpornosti proti koroziji in enakomernega toplotnega profila je odlična izbira za tiste, ki iščejo nosilec, ki lahko prenese zahteve postopka izdelave polprevodnikov. Zavezani smo k temu, da našim strankam zagotovimo visokokakovostne izdelke, ki izpolnjujejo njihove posebne zahteve. Stopite v stik z nami še danes, če želite izvedeti več o naši nosilni plošči za satelite MOCVD in kako vam lahko pomagamo pri vaših potrebah po proizvodnji polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate je visokokakovosten nosilec, zasnovan za uporabo v industriji polprevodnikov. Naš izdelek je prevlečen s silicijevim karbidom visoke čistosti na grafitu, zaradi česar je zelo odporen proti oksidaciji pri visokih temperaturah do 1600°C. Postopek kemičnega naparjevanja CVD, uporabljen pri izdelavi, zagotavlja visoko čistost in odlično odpornost proti koroziji, zaradi česar je idealen za uporabo v okoljih čistih prostorov.
Lastnosti naše plošče za držalo satelita MOCVD so impresivne. Njegova gosta površina in drobni delci povečajo njegovo odpornost proti koroziji, zaradi česar je odporen na kisline, alkalije, soli in organske reagente. Ta nosilec je zelo stabilen tudi v ekstremnih okoljih, zaradi česar je odlična izbira za tiste, ki iščejo nosilec, ki je kos zahtevam industrije polprevodnikov.

Parametri nosilne plošče satelita MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč