Vhodni obroči MOCVD

Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafita, prevlečenega s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Naši vstopni obroči MOCVD imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex dobavlja vhodne obroče MOCVD, ki se uporabljajo pri nanašanju in obdelavi rezin, ki so res stabilni za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje. Naši vhodni obroči MOCVD imajo grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost. Fina kristalna prevleka SiC zagotavlja čisto, gladko površino, ki je ključnega pomena za rokovanje, saj se neokrnjene rezine dotikajo suceptorja na številnih točkah po celotnem območju.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih sesalnih obročev MOCVD, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri vstopnih obročev MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300