Mikroporozni sic chuck

Polmonski mikroporozni sic Chuck je najsodobnejša vakuumska rezina, zasnovana za natančno ravnanje s rezinami v polprevodniških proizvodnih aplikacijah. Deluje kot bistveni del prevoza nabiranja, držanja in vate skozi različne stopnje obdelave rezin, ki vključuje čiščenje, jedkanje, odlaganje in litografijo. Ta rezin za rezine zagotavlja odličen oprijem in stabilnost, zaradi česar bo rezina med zapletenimi operacijami varno zadržana.

Polporočni mikroporozni sic chuck ima mikroporozno površinsko strukturo; To je pripravljeno iz silicijevega karbida (sic) visoke kakovosti in zagotavlja odlično toplotno stabilnost, kemično odpornost in dolgotrajno trajnost. Omogoča enakomerno sesalno silo po celotni površini rezin, kar zmanjšuje poškodbe rezin, hkrati pa zagotavlja zanesljivo ravnanje v celotnem ciklu obdelave. Osnovni materiali vključujejo SUS430 iz nerjavečega jekla, aluminijeve zlitine 6061, goste alumina keramike, granita in silicijeve karbide keramike.

Lastnosti in koristi

Mikroporozna površinska struktura: Sic Chuck je zasnovan z mikroporozno površino, kar poveča učinkovitost absorpcije vakuuma. To zagotavlja, da se celo občutljivi rezini varno držijo na mestu, ne da bi povzročili popačenje ali škodo.

Materialna vsestranskost: Osnovni material Chuck je prilagojen za posebne potrebe po postopku:

• SUS430 nerjavno jeklo: ponuja dobro korozijsko odpornost po dostopni ceni, idealen za standardne aplikacije.
• Aluminijeva zlitina 6061: lahka z visoko toplotno prevodnostjo, ki ponuja odlično odvajanje toplote za aplikacije, ki zahtevajo visokotemperaturno stabilnost.
• Gosta alumina keramika (99% AL2O3): zagotavlja izjemno električno izolacijo in visoko temperaturno odpornost, primerna za visoko natančno uporabo v proizvodnji polprevodnikov.
• Granit: Znan po izjemnih mehanskih lastnostih, Granit ponuja odlično dušenje vibracij, zaradi česar je idealen za visoko natančno ravnanje z rezinami, kjer je mehanska stabilnost bistvenega pomena.
• Keramika iz silicijevega karbida: končna izbira za visoko toplotno prevodnost in odpornost na toplotni šok, kar zagotavlja dolgotrajno delovanje v zahtevnih polprevodniških okoljih.

Vrhunska natančnost ravnenja: Chuck ima izjemno ravnost, bistveno za natančnost ravnanja z rezinami. Natančnost ravnenja različnih osnovnih materialov se razlikuje na naslednji način:

Aluminijasta zlitina 6061: Najbolj primerna za aplikacije, ki zahtevajo zmerno ravljivost in lahka.

SUS430 nerjaveče jeklo: ponuja dobro ploščo, običajno zadostuje za večino polprevodniških procesov.

Gosta alumina (99% AL2O3): zagotavlja najvišjo ploščo in zagotavlja natančno držanje rezin med občutljivimi procesi.

Granitna in sic keramika: Oba materiala ponujata visoko ravnost in odlično mehansko stabilnost, kar zagotavlja vrhunsko natančnost za zahtevno ravnanje z režami.

Prilagodljiva teža: Teža Chucka je odvisna od izbranega osnovnega materiala:

Aluminijeva zlitina 6061: najlažji material, idealen za procese, ki zahtevajo pogosto repozicioniranje ali ravnanje.

Granit: ponuja zmerno težo, ki zagotavlja trdno stabilnost brez prekomerne mase.

Keramika iz silicijevega karbida in alumine: najtežji materiali, ki ponujajo vrhunsko moč in togost za zahtevne aplikacije.

Visoka natančnost in stabilnost: Sic Chuck zagotavlja, da se rezine ravnajo z največ natančnosti, kar ponuja minimalno premikanje ali deformacijo rezin med prevozom skozi faze obdelave.

Uporaba v proizvajalcih polprevodnikovg

Mikroporozni sic Chuck se uporablja predvsem pri aplikacijah za ravnanje z rezinami v postopkih izdelave polprevodnikov, vključno z:

• Čiščenje rezin: Učinkovito drži rezine med postopki čiščenja, da se zagotovi popolno in enakomerno čiščenje, ne da bi pri tem povzročil škodo.
• Jedkanica in litografija: zagotavljata stabilno držanje rezin med jedkanicami ali litografskimi koraki, kar zagotavlja natančnost in natančnost pri vzorčenju.
• Odlaganje: pritrdi rezine med fizičnim odlaganjem hlapov (PVD) ali kemičnim odlaganjem hlapov (CVD), ki je ključnega pomena za tanko-film prevleke pri proizvodnji polprevodnikov.
• Pregled: Omogoča varno držanje rezin med preglednimi fazami, pri čemer zagotavlja, da je rezina ostala popolnoma poravnana in stabilna za slikanje ali meritve z visoko ločljivostjo.
• Embalaža: Pomaga v postopku embalaže rezin, ki zagotavlja varno ravnanje z rezinami pred ločevanjem čipov ali po njej.

Polmični mikroporozni sic Chuck je zasnovan s potrebami sodobne proizvodnje polprevodnikov. Ne glede na to, ali potrebujete lahke materiale za enostavno repozicioniranje ali težje, bolj toge materiale za natančno ravnanje, lahko naš Chuck prilagodite tako, da ustrezajo vašim natančnim specifikacijam. S številnimi možnostmi osnovnega materiala, ki ponuja edinstvene prednosti za posebne potrebe obdelave, Semicorex ponuja izdelek, ki združuje natančnost, vsestranskost in trajnost. Poleg tega mikroporna površina zagotavlja, da se rezine hranijo varno in enakomerno, kar zmanjšuje tveganje za poškodbe in zagotavlja kakovostno ravnanje po vsakem postopku.

Za proizvajalce polprevodnikov, ki iščejo zanesljive, prilagodljive in visokozmogljive rešitve za ravnanje z režami, polkorek mikroporozni sic Chuck ponuja popolno ravnovesje natančnosti, prilagodljivosti materiala in dolgotrajne zmogljivosti. Z našim izdelkom ste lahko prepričani, da bo postopek ravnanja z režami učinkovit, varen in zelo natančen.