Horizontalni čolni iz silicijevega karbida

Semicorex vodoravnočolni iz silicijevega karbidaso v celoti oblikovani s tehnologijo 3D tiskanja in nato izdelani s sintranjem pri visoki temperaturi. Te komponente so namensko izdelane, da se prilegajo različnim visokotemperaturnim vodoravnim velikostim peči, zato se pogosto uporabljajo za trdno zavarovanje zadrževanja rezin v kritičnih visokotemperaturnih proizvodnih procesih polprevodnikov, vključno z difuzijo, oksidacijo in kemičnim nanašanjem s paro.

Fizikalno-kemijske lastnosti silicijevega karbida

Prednosti vodoravnega čolna iz silicijevega karbida Semicorexs

1.Stabilna podpora in položaj

Neprimerljiva moč in trdota materiala dajeta vodoravnim čolnom iz silicijevega karbida Semicorex odlično nosilno zmogljivost, ki jim omogoča stabilno prenašanje več rezin hkrati. S pomočjo natančne obdelave rež lahko horizontalni čolni iz silicijevega karbida Semicorex trdno pritrdijo in varno držijo polprevodniške rezine. Struktura enakomerno razporejenih rež zagotavlja, da rezine ohranjajo fiksen položaj skozi celoten cikel obdelave, s čimer zagotavljajo doslednost in natančnost proizvodnih procesov polprevodnikov.

2. Združljivost s kompleksnimi pogoji delovanja

Zahvaljujoč vrhunski odpornosti na visoke temperature in odpornosti proti koroziji so horizontalni čolni Semicorex iz silicijevega karbida sposobni prenesti stroga delovna okolja, kot so visokotemperaturne atmosfere kisika, dušika ali vodikovega klorida z nizko koncentracijo. Te izjemne lastnosti materiala lahko učinkovito preprečijo korozijo in poškodbe, ki jih povzročijo visokotemperaturni jedki plini, kar močno podaljša življenjsko dobo čolnov.

3. Izjemna učinkovitost čistoče

Za razliko od običajnih grafitnih čolnov, prevlečenih s silicijevim karbidom, so vodoravni čolni iz silicijevega karbida Semicorex izdelani iz polprevodniškega razreda visoke čistosti.silicijev karbid(99,999 %) z ultra nizko vsebnostjo nečistoč. Ta vrhunski izbor materiala odpravlja tveganje izločanja kontaminantov ali luščenja prevleke, tudi če je izpostavljeno visokim temperaturam in ostrim korozivnim okoljem. Poleg tega je vsak naš čoln iz silicijevega karbida pred vakuumskim pakiranjem podvržen strogim postopkom ultrazvočnega čiščenja, kar zagotavlja skladnost s standardi čistosti, ki jih zahtevajo napredni postopki izdelave polprevodnikov.