Epitaksialni čoln z rezinami

Semicorex ponuja ladice za rezine, podstavke in nosilce za rezine po meri za navpične/stolpne in vodoravne konfiguracije. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš Epitaxial Wafer Boat ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex Epitaxial Wafer Boat, popolna rešitev za obdelavo rezin v proizvodnji polprevodnikov. Naši Epitaxial Wafer Boats so izdelani iz visokokakovostne keramike iz silicijevega karbida (SiC), ki zagotavlja vrhunsko odpornost na visoke temperature in kemično korozijo.
Naš Epitaxial Wafer Boat iz silicijevega karbida ima gladko površino, ki zmanjšuje nastajanje delcev, kar zagotavlja najvišjo stopnjo čistosti za vaše izdelke. Z odlično toplotno prevodnostjo in vrhunsko mehansko trdnostjo naši čolni zagotavljajo dosledne in zanesljive rezultate.
Naši Epitaxial Wafer Boats so združljivi z vso standardno opremo za obdelavo rezin in lahko prenesejo temperature do 1600 °C. Z njimi je enostavno rokovati in čistiti, zaradi česar so stroškovno učinkovita in učinkovita izbira za vaše proizvodne potrebe.
Naša ekipa strokovnjakov je predana zagotavljanju najboljše kakovosti in storitev. Ponujamo dizajne po meri, ki izpolnjujejo vaše posebne zahteve, naše izdelke pa podpira naš program zagotavljanja kakovosti.

Parametri epitaksialne ploščate ladje

Tehnične lastnosti
Kazalo	Enota	Vrednost
Ime materiala		Reakcijsko sintran silicijev karbid	Breztlačno sintran silicijev karbid	Rekristaliziran silicijev karbid
Sestava		RBSiC	SSiC	R-SiC
Nasipna gostota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Upogibna trdnost	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Tlačna trdnost	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Trdota	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Toplotna prevodnost	W/m.k	95	120	23
Koeficient toplotnega raztezanja	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifična toplota	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Največja temperatura v zraku	℃	1200	1500	1600
Modul elastičnosti	Gpa	360	410	240

Razlika med SSiC in RBSiC:

1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.

2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.

3. Različni časi uporabe pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC

Značilnosti epitaksialne plošče iz silicijevega karbida

SiC visoke čistosti, prevlečen z MOCVD
Vrhunska toplotna odpornost in toplotna enotnost
Prevleka s finimi kristali SiC za gladko površino
Visoka vzdržljivost proti kemičnemu čiščenju
Material je zasnovan tako, da ne prihaja do razpok in razslojevanja.