> Izdelki > Keramika > Silicijev karbid (SiC) > Končni efektor za ravnanje z rezinami

Izdelki

novi izdelki

Končni efektor za ravnanje z rezinami

Semicorex End Effector for Wafer Handling je dimenzijsko natančen in termično stabilen za obdelavo rezin. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj elementov za prevleko iz silicijevega karbida. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Končni efektor Semicorex za ravnanje z rezinami je dimenzijsko natančen in termično stabilen, hkrati pa ima gladko, proti obrabi odporno prevleko CVD SiC za varno ravnanje z rezinami brez poškodb naprav ali ustvarjanja kontaminacije z delci, ki lahko premikajo polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih. natančno in učinkovito. Naš končni efektor s prevleko iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti za ravnanje z rezinami zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš končni efektor za ravnanje z rezinami ima ugodno ceno in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.

Parametri končnega efektorja za ravnanje z rezinami

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300