Elektrostatična vpenjalna glava E-Chuck

Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck deluje na principih elektrostatičnega privlačenja in ponuja zanesljivo in natančno zadrževanje rezin brez potrebe po mehanskih sponah ali vakuumskem sesanju, zlasti za uporabo pri jedkanju, ionskem impl.

obdelava polprevodnikov, PVD, CVD itd. Zaradi prilagodljivih dimenzij je prilagodljiv širokemu spektru aplikacij, zaradi česar je idealna izbira za podjetja, ki iščejo prilagodljivost in učinkovitost v postopkih izdelave polprevodnikov.

Temeljna tehnologija v ozadju elektrostatične vpenjalne glave tipa J-R E-Chuck je njegova sposobnost ustvarjanja elektrostatične sile med rezino in površino vpenjalne glave. Ta sila nastane z uporabo visoke napetosti na elektrodah, vdelanih v vpenjalno glavo, kar inducira naboje tako na rezini kot na vpenjalni glavi, s čimer se ustvari močna elektrostatična vez. Ta mehanizem ne le varno drži rezino na mestu, ampak tudi zmanjša fizični stik med rezino in vpenjalno glavo, kar zmanjša morebitno kontaminacijo ali mehansko obremenitev, ki bi lahko poškodovala občutljive polprevodniške materiale.

Semicorex lahko izdela izdelke po meri, od 200 mm do 300 mm ali celo večje, odvisno od zahtev kupcev. S ponudbo teh prilagodljivih možnosti ESC tipa J-R zagotavlja največjo prilagodljivost za vrsto polprevodniških procesov, vključno s plazemskim jedkanjem, kemičnim naparjevanjem (CVD), fizikalnim naparjevanjem (PVD) in ionsko implantacijo.

Kar zadeva materiale, je elektrostatična vpenjalna glava E-Chuck izdelana iz visokokakovostnih keramičnih materialov, kot sta aluminijev oksid (Al2O3) ali aluminijev nitrid (AlN), ki sta znana po svojih odličnih dielektričnih lastnostih, mehanski trdnosti in toplotni stabilnosti. Ta keramika zagotavlja vpenjalni glavi potrebno vzdržljivost, da prenese težke pogoje proizvodnje polprevodnikov, kot so visoke temperature, korozivna okolja in izpostavljenost plazmi. Poleg tega je keramična površina polirana do visoke stopnje gladkosti, da se zagotovi enakomeren stik z rezino, kar poveča elektrostatično silo in izboljša splošno učinkovitost postopka.

Elektrostatična vpenjalna glava E-Chuck je zasnovana tudi za obvladovanje toplotnih izzivov, s katerimi se običajno srečujemo pri izdelavi polprevodnikov. Upravljanje temperature je ključnega pomena med postopki, kot sta jedkanje ali nanašanje, kjer lahko temperatura rezine hitro niha. Keramični materiali, uporabljeni v vpenjalni glavi, zagotavljajo odlično toplotno prevodnost, pomagajo pri učinkovitem odvajanju toplote in ohranjanju stabilne temperature rezin.

Electrostatic Chuck E-Chuck je zasnovan s poudarkom na zmanjševanju kontaminacije z delci, kar je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodnikov, kjer lahko celo mikroskopski delci povzročijo napake v končnem izdelku. Gladka keramična površina vpenjalne glave zmanjšuje verjetnost oprijemanja delcev, zmanjšan fizični stik med rezino in vpenjalno glavo pa zaradi elektrostatičnega držalnega mehanizma dodatno zmanjšuje tveganje kontaminacije. Nekateri modeli J-R tipa ESC vključujejo tudi napredne površinske premaze ali obdelave, ki odbijajo delce in so odporne proti koroziji, kar povečuje dolgo življenjsko dobo in zanesljivost vpenjalne glave v okolju čistih prostorov.

Če povzamemo, elektrostatična vpenjalna glava tipa J-R E-Chuck je vsestranska in zanesljiva rešitev za držanje rezin, ki ponuja izjemno zmogljivost v širokem razponu proizvodnih procesov polprevodnikov. Zaradi njegove prilagodljive zasnove, napredne tehnologije elektrostatičnega držanja in robustnih lastnosti materiala je idealna izbira za podjetja, ki želijo optimizirati ravnanje z rezinami ob ohranjanju najvišjih standardov čistoče in natančnosti. Ne glede na to, ali se uporablja pri plazemskem jedkanju, nanašanju ali ionski implantaciji, ESC tipa J-R zagotavlja prožnost, vzdržljivost in učinkovitost, ki je potrebna za izpolnjevanje zahtevnih potreb današnje industrije polprevodnikov. S svojo zmožnostjo delovanja v Coulombovem in Johnsen-Rahbekovem načinu, obvladovanja visokih temperatur in odpornosti proti kontaminaciji z delci je ESC tipa J-R kritična komponenta pri iskanju višjih izkoristkov in izboljšanih rezultatov postopka.