Keramična vpenjalna glava iz aluminijevega nitrida

Keramična vpenjalna glava iz aluminijevega nitrida predstavlja vrhunsko rešitev za obdelavo polprevodniških rezin, posebej zasnovana za varno držanje rezin na mestu med različnimi stopnjami izdelave. Ta inovativna naprava, ki deluje kot elektrostatična vpenjalna glava (ESC), izkorišča izjemne lastnosti keramike iz aluminijevega nitrida, da zagotovi natančno in zanesljivo zadrževanje rezin.

Keramična vpenjalna glava Semicorex iz aluminijevega nitrida uporablja elektrostatične sile, da trdno oprime rezino na njeno površino. To dosežemo z natančno izdelano ploščo z integriranimi elektrodami, ki so strateško pristranske z visoko napetostjo. Posledično se med ploščo in rezino vzpostavi elektrostatična zadrževalna sila, ki učinkovito imobilizira rezino na mestu v vseh fazah obdelave.

Ena od izstopajočih lastnosti keramične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida je izjemna kombinacija visoke toplotne prevodnosti in izolacijskih lastnosti. Zaradi te edinstvene mešanice lastnosti je idealna izbira materiala za aplikacije ESC. Visoka toplotna prevodnost zagotavlja učinkovito odvajanje toplote, ki je ključnega pomena za ohranjanje enakomerne porazdelitve temperature po rezini med obdelavo. Hkrati njegove izjemne izolacijske lastnosti zagotavljajo električno izolacijo med vpenjalno glavo in rezino, kar zmanjšuje tveganje električnih motenj ali poškodb občutljivih polprevodniških komponent.

Keramična vpenjalna glava iz aluminijevega nitrida ponuja številne prednosti pred tradicionalnimi materiali za vpenjalne glave. Njegova robustna konstrukcija zagotavlja dolgotrajno vzdržljivost, ki je sposobna vzdržati stroge zahteve okolja za proizvodnjo polprevodnikov. Poleg tega je zaradi združljivosti z visokotemperaturnimi procesi in odpornosti proti toplotnemu raztezanju nepogrešljivo orodje za doseganje doslednih in visokokakovostnih rezultatov obdelave rezin.