Elektrostatične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida

Elektrostatične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida uporabljajo elektrostatične sile za varno držanje rezin med različnimi postopki izdelave polprevodnikov. Ta metoda odpravlja potrebo po mehanskih sponkah ali vakuumskih sistemih, s čimer se zmanjša tveganje za nastajanje delcev in mehanske obremenitve na občutljivih rezinah. Ena od ključnih prednosti elektrostatičnih vpenjal iz aluminijevega nitrida je njihova sposobnost ustvarjanja zelo enotne in stabilne elektrostatične sile po celotni površini rezin. To zagotavlja dosleden stik in preprečuje zdrs ali deformacijo rezin med obdelavo, kar vodi do izboljšane enakomernosti nanesenih filmov, jedkanih funkcij in drugih kritičnih parametrov. Ta enakomerna vpenjalna sila zmanjša tudi popačenje rezin, kar vodi k izboljšani zmogljivosti naprave in izkoristku.

Kar zadeva njegove toplotne lastnosti, visoka toplotna prevodnost elektrostatičnih vpenjal iz aluminijevega nitrida omogoča učinkovito odvajanje toplote med visokotemperaturnimi procesi, preprečuje toplotno obremenitev in zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature po rezini. To je ključnega pomena pri aplikacijah, kot sta hitra toplotna obdelava in plazemsko jedkanje, kjer lahko lokalno segrevanje negativno vpliva na delovanje naprave. Poleg tega postopek izdelave polprevodnikov pogosto vključuje hitre temperaturne prehode. Visoka odpornost elektrostatične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida na toplotne udarce omogoča, da prenese te nenadne temperaturne spremembe brez degradacije ali razpok, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo in zanesljivo delovanje vpenjalne glave pri daljši uporabi. Še več, AlN ima koeficient toplotne razteznosti (CTE), ki se zelo ujema s koeficientom silicijevih rezin. Ta združljivost zmanjša obremenitev, povzročeno na vmesniku rezine in vpenjalne glave med termičnim ciklom, s čimer prepreči lok rezine, popačenje in morebitne okvare, ki bi lahko vplivale na izkoristek in zmogljivost naprave.

AlN je mehansko robusten material z visoko upogibno trdnostjo in lomno žilavostjo. Ta inherentna trdnost omogoča, da elektrostatične vpenjalne glave iz aluminijevega nitrida prenesejo mehanske obremenitve, do katerih pride med velikoserijsko proizvodnjo, kar zagotavlja dosledno delovanje in podaljšano življenjsko dobo. Po drugi strani pa AlN izkazuje odlično odpornost na široko paleto kemikalij in plazme, ki se običajno uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Prav tako kaže vrhunsko odpornost proti oksidaciji tudi pri povišanih temperaturah, kar zagotavlja, da površina elektrostatičnih vpenjalnih vpenjal iz aluminijevega nitrida ostane nedotaknjena in ne onesnažuje skozi celotno življenjsko dobo.

Elektrostatične vpenjalne glave Semicorex iz aluminijevega nitrida so na voljo v različnih velikostih in debelinah, da se prilagodijo različnim premerom rezin in zahtevam postopka. Zaradi te prilagodljivosti so primerni za široko paleto aplikacij za proizvodnjo polprevodnikov, od raziskav in razvoja do proizvodnje velikih količin.