domov > Izdelki > Polprevodniške komponente > Fokusni obroč > Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov
Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov

Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov

Vzdržljivi fokusni obroči Semicorex za obdelavo polprevodnikov so zasnovani tako, da prenesejo ekstremna okolja komor za plazemsko jedkanje, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Naši fokusni obroči so narejeni iz grafita visoke čistosti, prevlečenega z gosto, proti obrabi odporno prevleko iz silicijevega karbida (SiC). Prevleka SiC ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da izboljšamo življenjsko dobo naših fokusnih obročev.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov so zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda, kar zmanjšuje kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje. So zelo stabilni za hitro termično žarjenje (RTA), hitro termično obdelavo (RTP) in grobo kemično čiščenje.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih, stroškovno učinkovitih trajnih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naših vzdržljivih fokusnih obročih za obdelavo polprevodnikov.


Parametri vzdržljivih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC

SiC-CVD lastnosti

Kristalna struktura

FCC β faza

Gostota

g/cm³

3.21

Trdota

Trdota po Vickersu

2500

Velikost zrn

μm

2~10

Kemijska čistost

%

99.99995

Toplotna zmogljivost

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura sublimacije

2700

Feleksuralna moč

MPa (RT 4-točkovno)

415

Youngov modul

Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)

430

Toplotna ekspanzija (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Toplotna prevodnost

(W/mK)

300


Značilnosti trajnih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov

â Prevleka iz grafita visoke čistosti in SiC za odpornost proti luknjam in daljšo življenjsko dobo.

â Tako grafitna podlaga kot plast SiC imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

â Prevleka SiC je nanesena v tankih plasteh za podaljšanje življenjske dobe.



Hot Tags: Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, v razsutem stanju, napredni, trpežni

Povezana kategorija

Pošlji povpraševanje

Prosimo, oddajte svoje povpraševanje v spodnjem obrazcu. Odgovorili vam bomo v 24 urah.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept