> Izdelki > Keramika > Silicijev karbid (SiC) > Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov

Izdelki

novi izdelki

Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov

Vzdržljivi fokusni obroči Semicorex za obdelavo polprevodnikov so zasnovani tako, da prenesejo ekstremna okolja komor za plazemsko jedkanje, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Naši fokusni obroči so narejeni iz grafita visoke čistosti, prevlečenega z gosto, proti obrabi odporno prevleko iz silicijevega karbida (SiC). Prevleka SiC ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da izboljšamo življenjsko dobo naših fokusnih obročev.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naši vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov so zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda, kar zmanjšuje kontaminacijo in nenačrtovano vzdrževanje. So zelo stabilni za hitro termično žarjenje (RTA), hitro termično obdelavo (RTP) in grobo kemično čiščenje.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih, stroškovno učinkovitih trajnih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov, prednost dajemo zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naših vzdržljivih fokusnih obročih za obdelavo polprevodnikov.

Parametri vzdržljivih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti trajnih fokusnih obročev za obdelavo polprevodnikov

● Prevleka iz grafita visoke čistosti in SiC za odpornost proti luknjam in daljšo življenjsko dobo.

● Tako grafitna podlaga kot plast SiC imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

● Prevleka SiC je nanesena v tankih slojih za podaljšanje življenjske dobe.

Hot Tags: Vzdržljivi fokusni obroči za obdelavo polprevodnikov, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, v razsutem stanju, napredni, trpežni

Oznaka izdelka

Povezana kategorija