Zgornji brusni obroči, prevlečeni s CVD SiC

CVD SiC-prevlečeni zgornji brusni obroči so običajno nameščeni v zgornjem delu reakcijske komore v opremi za plazemsko jedkanje, ki obdaja elektrostatično vpenjalno glavo rezin. Zgornji osnovni obroči, prevlečeni s CVD SiC, so ključnega pomena za celoten sistem jedkanja, ki lahko deluje kot fizična ovira za zaščito komponent naprave pred napadom plazme in prilagodi notranje električno polje ter omeji območje porazdelitve plazme, da zagotovi enotne rezultate jedkanja.

Plazemsko jedkanje je tehnologija suhega jedkanja, ki se pogosto uporablja v proizvodnji polprevodnikov in deluje tako, da uporablja fizikalne in kemične interakcije med plazmo in površino polprevodniških materialov za selektivno odstranjevanje določenih področij, s čimer se doseže obdelava natančnih struktur. V zahtevnem okolju plazemskega jedkanja povzroča visokoenergijska plazma agresivno korozijo in napad na komponente v reakcijski komori. Da bi zagotovili zanesljivo in učinkovito delovanje, morajo imeti komponente komore odlično odpornost proti koroziji, mehanske lastnosti in nizke značilnosti kontaminacije. Zgornji talni obroči Semicorex CVD, prevlečeni s SiC, so popolnoma zasnovani za ta težka delovna okolja z visoko korozijo.

Zanesljiv CVD SiC premaz

Za boljše delovanje v težkih pogojih jedkanja so zgornji brusni obroči Semicorex CVD SiC prevlečeni z visoko zmogljivo prevleko CVD SiC, ki dodatno izboljša njihovo zmogljivost in vzdržljivost.

1. Ultra-visoka čistost

TheSiC prevlekaizdelani s postopkom CVD imajo odlično zgoščevanje z ultra visoko čistostjo (čistost presega 99,9999 %), ki lahko prepreči visokoenergijske plazemske napade pri jedkanju na zgornje obroče, prevlečene s SiC Semicorex CVD, in se tako izogne ​​kontaminaciji, ki jo povzročijo delci nečistoč iz matrik.

2. Izboljšana odpornost proti koroziji

Prevleka SiC, izdelana s postopkom CVD, nudi izboljšano odpornost proti koroziji, zaradi česar zgornji brusni obroči, prevlečeni s SiC Semicorex CVD, učinkovito prenesejo zahtevno korozijo iz plazme (še posebej korozivnih plinov, kot so halogeni in fluor).

3. Izboljšane mehanske lastnosti

Zgornji brusni obroči Semicorex CVD SiC prevlečeni lahko prenesejo intenzivno plazemsko bombardiranje, mehanske obremenitve in pogosto rokovanje brez deformacij ali zlomov med dolgotrajno uporabo zahvaljujoč povečani trdoti in odpornosti proti obrabi CVD SiC prevleke.

Visokostandardna obdelava in pregled kakovosti

Za popolno prilagoditev zahtevnim pogojem jedkanja polprevodnikov so zgornji brusni obroči Semicorex CVD SiC prevlečeni z natančno obdelavo in strogim pregledom.

Površinska obdelava: Natančnost poliranja je Ra < 0,1 µm; natančnost finega brušenja je Ra > 0,1 µm

Natančnost obdelave je nadzorovana znotraj ≤ 0,03 mm

Pregled kakovosti:

Semicorex trdni CVD SiC obroči so podvrženi analizi ICP-MS (induktivno sklopljena plazemska masna spektrometrija). Semicorex trdni CVD SiC obroči so predmet merjenja dimenzij, testiranja upornosti in vizualnega pregleda, kar zagotavlja, da so izdelki brez odrezkov, prask, razpok, madežev in drugih napak.