Semicorex ponuja ladice za rezine, podstavke in nosilce za rezine po meri za navpične/stolpne in vodoravne konfiguracije. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj prevleke iz silicijevega karbida. Naš Batch Wafer Boat ima dobro cenovno ugodnost in pokriva večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Semicorex Batch Wafer Boat je izdelan iz visokokakovostnega keramičnega materiala iz silicijevega karbida za vrhunsko kemično odpornost in toplotno stabilnost.
Naš Batch Wafer Boat ima gladko površino in zagotavlja odlično oporo za rezine in zaščito med obdelavo. Prevleka SiC zagotavlja enakomernost in stabilnost med obdelavo ter ščiti rezine pred kontaminacijo in poškodbami. Z odlično toplotno prevodnostjo in vrhunsko mehansko trdnostjo naša držala za rezine zagotavljajo dosledne in zanesljive rezultate.
Naša ekipa strokovnjakov je predana zagotavljanju najboljše kakovosti in storitev. Ponujamo dizajne po meri, ki ustrezajo vašim specifičnim zahtevam, naše serijske ladje za rezine pa podpira naš program zagotavljanja kakovosti.
Parametri čolna za serijsko rezino
Tehnične lastnosti |
||||
Kazalo |
Enota |
Vrednost |
||
Ime materiala |
Reakcijsko sintran silicijev karbid |
Breztlačno sintran silicijev karbid |
Rekristaliziran silicijev karbid |
|
Sestava |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Nasipna gostota |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Upogibna trdnost |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400 °C) |
Tlačna trdnost |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Trdota |
Gumb |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Toplotna prevodnost |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeficient toplotnega raztezanja |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifična toplota |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Največja temperatura v zraku |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modul elastičnosti |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Razlika med SSiC in RBSiC:
1. Postopek sintranja je drugačen. RBSiC naj bi infiltriral prosti Si v silicijev karbid pri nizki temperaturi, SSiC nastane z naravnim krčenjem pri 2100 stopinjah.
2. SSiC ima bolj gladko površino, večjo gostoto in večjo trdnost, za nekatera tesnila s strožjimi površinskimi zahtevami bo SSiC boljši.
3. Različni uporabljeni časi pri različnih PH in temperaturah, SSiC je daljši od RBSiC
Lastnosti Batch Wafer Boat
- Visoka trdnost (trdota po Mohsu 9,5, takoj za diamantom)
- Odpornost proti koroziji na kisline, alkalije, soli in organska topila
- Visoka toplotna prevodnost, plazemska odpornost, dolga življenjska doba
- Polprevodniki