Aluminijevi grelniki nitrida

Polmonski grelniki aluminijevega nitrida so najsodobnejši keramični ogrevalni elementi, zasnovani za aplikacije, ki zahtevajo visoko toplotno prevodnost, električno izolacijo in izjemno trajnost. Ti grelniki, zasnovani iz aluminijeve nitridne keramike, zagotavljajo hitro in enakomerno ogrevanje, zaradi česar so idealni za visoko natančno okolje, kot so predelava polprevodnikov, medicinska diagnostika in napredna analitična instrumentacija.

Aluminijevi grelniki nitrida so ključne sestavine v opremi za nalaganje v polprevodniku. Neposredno se uporabljajo za procesno komoro in v neposrednem stiku z rezino. Ne samo nosijo rezino, ampak tudi zagotavljajo, da rezina pridobi a 

Stabilna in enakomerna temperatura procesa. Ta značilnost je bistvenega pomena za visoko natančne reakcije na površini rezin in nastajanje enotnih tankih filmov.

Običajno grelniki aluminijevega nitrida vključujejo keramični substrat s površino obremenitve rezin in cilindrično podporno telo, ki ga podpira na zadnji strani. Poleg uporovnega ogrevalnega vezja za ogrevanje so v notranjosti ali na površini keramične podlage na voljo tudi RF elektroda in elektrostatska elektroda in drugi vodniki.

Oprema za nalaganje tankih filmov običajno uporablja keramične materiale na podlagiAluminijev nitrid (ALN)ker vključuje visokotemperaturno okolje. Razlog, zakaj so aluminijevi grelniki nitrida naklonjeni pri proizvodnji polprevodnikov, je predvsem posledica njihovih edinstvenih fizikalnih in kemijskih lastnosti. Aluminijevi nitrid ne samo da ima visoko toplotno prevodnost in lahko v kratkem času doseže hitro ogrevanje in hlajenje, ampak ima tudi dobro električno izolacijo in mehansko trdnost, kar zagotavlja stabilnost in zanesljivost grelnika. Poleg tega je koeficient toplotne ekspanzije aluminijevega nitrida podoben kot pri siliciju, kar pomaga zmanjšati vpliv toplotnega stresa na rezino in izboljšati donos procesa.

Na splošno gledano,Keramični grelnikise uporabljajo predvsem v opremi za nalaganje tankih filmov. Ker vključuje visokotemperaturne procese, je uporabljen keramični material predvsem aluminijev nitrid; Elektrostatični chucks se uporabljajo predvsem v jedkani opremi, uporabljeni keramični material pa je predvsem aluminijev oksid. Z razvojem polprevodniške tehnologije se med keramičnimi grelniki in elektrostatičnimi chucks prekriva. Na primer, keramični grelniki, ki se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov, so opremljeni z elektrostatičnimi chucksi, ki imajo dvojne funkcije visokotemperaturnega ogrevanja in elektrostatične adsorpcije. Elektrostatični chucks, ki se uporabljajo v opremi jedkanja, začnejo vključevati tudi visokotemperaturne procese, keramični material pa je treba spremeniti iz aluminijevega oksida v aluminijevi nitrid.