ALN grelniki

Semicorex ALN grelniki za polprevodnik je naprava, ki se uporablja za ogrevanje polprevodniških materialov. Je v glavnem narejen izAluminijeva nitridna keramikaMaterial ima odlično toplotno prevodnost in visoko temperaturno odpornost in lahko stabilno deluje pri visokih temperaturah. Grelec običajno uporablja uporno žico kot ogrevalni element. Z napajanjem uporniške žice za ogrevanje se toplota prenese na površino grelnika, da se doseže segrevanje polprevodniškega materiala. ALN grelniki za polprevodnike igrajo pomembno vlogo v procesu proizvodnje polprevodnikov in jih je mogoče uporabiti v procesih, kot so rast kristalov, žarjenje in peka.

V postopku sprednjega dela (FEOL) iz proizvodnje polprevodnikov je treba na rezini izvajati različne procesne obdelave, zlasti ogrevanje rezin na določeno temperaturo in obstajajo stroge zahteve, ker ima enakomernost temperature zelo pomemben vpliv na donos izdelka; Hkrati mora polprevodniška oprema delovati tudi v okolju, kjer obstajajo vakuum, plazma in kemični plini, kar zahteva uporabo keramičnih grelnikov (keramični grelec). Keramični grelniki so pomembni sestavni deli opreme za nalaganje tankih filmov. Uporabljajo se v procesni komori in se neposredno obrnite na rezino, da nosijo in omogočijo rezino, da dobijo stabilno in enakomerno temperaturo procesa ter z visoko natančnostjo reagirajo in ustvarjajo tanke filme na površini rezin.

Tanka oprema za nalaganje filmov za keramične grelnike običajno uporablja keramične materiale, ki temeljijo naAluminijev nitrid (ALN)Zaradi vpletenih visokih temperatur. Aluminijev nitrid ima električno izolacijo in odlično toplotno prevodnost; Poleg tega je njegov koeficient toplotne ekspanzije blizu silicija in ima odlično odpornost na plazmo, zaradi česar je zelo primeren za uporabo kot komponente polprevodniške naprave.

ALN grelniki vključujejo keramično bazo, ki nosi rezino, in valjasto podporno telo, ki ga podpira na zadnji strani. V notranjosti ali na površini keramične podlage, poleg upornega elementa (ogrevalni sloj) za ogrevanje, obstaja tudi RF elektroda (RF plast). Da bi dosegli hitro ogrevanje in hlajenje, mora biti debelina keramične podlage tanka, vendar bo tudi pretanka zmanjšala togost. Podporni telo grelnikov ALN je običajno izdelan iz materiala s toplotnim koeficientom ekspanzije, podobno kot v bazi, zato je podporno telo pogosto izdelano tudi iz aluminijevega nitrida. ALN grelniki sprejmejo edinstveno strukturo dna sklepa gred (gred), da zaščitijo sponke in žice pred učinki plazme in korozivnih kemičnih plinov. V podpornem telesu je na voljo vhod za prenos toplote in izhodna cev, da se zagotovi enakomerna temperatura grelnika. Osnova in podporne telo sta kemično vezana z vezavnim slojem.

Ogrevalni element odpornosti je pokopan v grelniku. Nastane z zaslonskim tiskanjem s prevodno pasto (volfram, molibden ali tantalum), da tvori vzorec spiralnega ali koncentričnega kroga. Seveda se lahko uporablja tudi kovinska žica, kovinska mreža, kovinska folija itd. Pri uporabi metode tiskanja zaslona pripravita dve keramični plošči iste oblike, prevodna pasta pa se nanese na površino enega od njih. Nato je sintrano, da tvori uporovni ogrevalni element, druga keramična plošča pa se prekriva z uporovnim ogrevalnim elementom, da se v dnu pokoplje uporni element.

Glavni dejavniki, ki vplivajo na toplotno prevodnost keramike aluminijevega nitrida, so gostota rešetke, vsebnost kisika, čistost prahu, mikrostruktura itd., Ki bo vplivala na toplotno prevodnost aluminijeve keramike.