Semicorexov grelec AlN je zasnovan za podporo in ogrevanje silicijevih rezin. Ta grelec, izdelan iz aluminijevega nitrida visoke čistosti (AlN), ponuja vrsto naprednih funkcij, ki zadovoljujejo potrebe različnih visoko natančnih aplikacij, zlasti v industriji polprevodnikov.**
Vsestranskost v delovnih okoljih
Ena najpomembnejših lastnosti grelnika AlN je njegova sposobnost učinkovitega delovanja v različnih delovnih okoljih, vključno z atmosferskimi in vakuumskimi pogoji. Z impresivnim temperaturnim območjem delovanja, ki sega do 1000 °C (1832 °F), zagotavlja hitro in enakomerno segrevanje po vsej plošči. Zaradi svoje vsestranskosti je primeren za številne aplikacije, od naprav za proizvodnjo polprevodnikov do sistemov za vakuumsko izhlapevanje, strojev za razprševanje in naprav za kemično naparjevanje (CVD).
Natančno inženirstvo s postopkom sintranja
Proizvodni proces grelnika AlN vključuje vakuumsko vroče stiskanje, ki je bistveno bolj zahteven postopek kot običajno breztlačno sintranje. Ta prefinjena tehnika zagotavlja, da čistost aluminijevega nitrida grelnika doseže izjemnih 99,5 %. Z uporabo tako strogih proizvodnih standardov Semicorex zagotavlja, da ima vsak AlN grelnik izjemne mehanske in toplotne lastnosti, ki zagotavljajo zanesljivo delovanje tudi v najzahtevnejših pogojih.
Izjemna toplotna prevodnost
Izstopajoča značilnost grelnika AlN je njegova visoka toplotna prevodnost, ki presega 180 W/m*K. Ta visoka toplotna prevodnost je ključnega pomena pri doseganju odlične toplotne enakomernosti v širokem temperaturnem območju, kar je ključni dejavnik za številne visoko natančne aplikacije. Grelnik je mogoče izdelati z večplastno konstrukcijo, ki lahko oddaja do 2000 W/in² (310 W/cm²), kar zagotavlja učinkovito in enakomerno porazdelitev toplote. Ta zmožnost je še posebej dragocena pri obdelavi polprevodnikov, kjer je natančen nadzor temperature najpomembnejši.
Vrhunska odpornost proti koroziji
Poleg svojih toplotnih lastnosti se AlN Heater ponaša z vrhunsko odpornostjo proti koroziji. Je zelo odporen proti halogenskim plinom in oksidativnim okoljem ter izkazuje močno odpornost na večino kislih in alkalnih raztopin. Ta odpornost zagotavlja dolgotrajno vzdržljivost in stabilnost delovanja, tudi v okoljih, kjer je izpostavljenost jedkim snovem stalna skrb. Takšna vzdržljivost zmanjša potrebo po pogostih zamenjavah, s čimer se znižajo stroški vzdrževanja in izboljša splošna zanesljivost sistema.
Aplikacije v visokotehnoloških panogah
AlN Heater proizvajalca Semicorex je zaradi svojih naprednih lastnosti nepogrešljiv v različnih visokotehnoloških industrijah:
Proizvodnja polprevodnikov: zaradi enakomernega segrevanja in natančnega nadzora grelnika je idealen za uporabo v opremi za obdelavo polprevodnikov, kar zagotavlja visokokakovostno proizvodnjo rezin.
Vakuumski izparilni sistemi: zaradi svoje sposobnosti delovanja v vakuumskih okoljih pri visokih temperaturah je odlična izbira za vakuumske izparilne sisteme, kjer je nadzorovano ogrevanje ključnega pomena.
Stroji za brizganje: Toplotna prevodnost in odpornost proti koroziji grelnika AlN povečata učinkovitost in življenjsko dobo strojev za brizganje, ki se uporabljajo za nanašanje premazov na substrate.
Naprave za nanašanje s kemično paro (CVD): Pri postopkih CVD, kjer se materiali nanesejo na podlage s kemičnimi reakcijami, enotna porazdelitev temperature grelnika zagotavlja dosledne in visokokakovostne tanke plasti.
Izboljšana zmogljivost in zanesljivost
Zasnova in materialna sestava grelnika AlN prispevata k njegovi izboljšani zmogljivosti in zanesljivosti. Čistost aluminijevega nitrida v kombinaciji s strogim postopkom sintranja povzroči grelnik, ki ne le deluje izjemno dobro, ampak tudi ohranja svojo celovitost v daljših obdobjih. Ta zanesljivost je ključnega pomena v okoljih z velikimi vložki, kjer lahko okvara opreme povzroči znatne izpade in finančne izgube.
Prilagodljiv dizajn
Ob razumevanju, da imajo različne aplikacije edinstvene zahteve, Semicorex ponuja prilagodljive možnosti oblikovanja za grelec AlN. Ne glede na to, ali gre za prilagajanje velikosti, oblike ali izhodne moči grelnika, naša ekipa strokovnjakov tesno sodeluje s strankami pri razvoju prilagojenih rešitev, ki izpolnjujejo posebne potrebe. Ta stopnja prilagajanja zagotavlja, da se AlN Heater neopazno integrira v obstoječe sisteme, s čimer izboljša splošno učinkovitost in zmogljivost.