Trdna rebra iz silicijevega karbida

Semicorex trdnarebra iz silicijevega karbidaso običajno nameščeni kot komponente toplotne izolacije v navpičnih pečnih ceveh opreme za termično obdelavo polprevodnikov, kot so peči za žarjenje RTP in difuzijske peči. Rebra iz trdnega silicijevega karbida Semicorex lahko učinkovito uravnavajo porazdelitev temperature v visokotemperaturnih pečeh in zmanjšajo toplotno škodo na procesnih tesnilnih delih vrat, ki jih povzročajo visoke temperature. V delovnih pogojih mokre oksidacije je mogoče uporabiti rebra Semicorex iz trdnega silicijevega karbida za učinkovito preprečevanje negativnih vplivov na rezultate procesa in polprevodniške naprave, ki jih povzroča kondenzacija vodne pare pri relativno nizkih temperaturah procesa.

Prednosti reber Semicorex iz trdnega silicijevega karbida

1. Odlična odpornost proti obrabi

CVD SiC ima polikristalno kubično kristalno strukturo z izjemno trdoto, ki je takoj za diamantom. Odlična odpornost proti obrabi reber Semicorex iz trdnega silicijevega karbida se pripisuje tej lastnosti, zaradi česar so odporna na obrabo med rokovanjem in zamenjavo.

2. Vrhunska zmogljivost upravljanja toplote

CVD SiC zagotavlja odlično toplotno odpornost in visokotemperaturno stabilnost, ki se ne stopi ali zmehča pri temperaturah do približno 2000 °C in ohrani svojo stabilnost pred ultravisoko temperaturno sublimacijo. Zahvaljujoč tem vrhunskim toplotnim lastnostim so rebra iz trdnega silicijevega karbida Semicorex zelo primerna za zahtevne pogoje toplotne obdelave polprevodnikov.

3. Ultra-visoka čistoča

CVD-SiCse proizvaja brez dodatkov za sintranje med postopkom nanašanja. V primerjavi z običajnim reakcijsko vezanim silicijevim karbidom ima veliko višjo čistost, ki dosega več kot 99,9995 %. To učinkovito preprečuje kontaminacijo s kovinskimi nečistočami reber Semicorex iz trdnega silicijevega karbida, ki jih povzročajo visoke temperature v procesnih okoljih, kar popolnoma izpolnjuje zahteve glede čistosti napredne proizvodnje polprevodnikov.

4. Zanesljiva odpornost proti koroziji

Rebra iz trdnega silicijevega karbida Semicorex lahko prenesejo visoko oksidativne in močno kisle procesne pline, ki se uporabljajo v postopkih toplotne obdelave polprevodnikov, zaradi izjemne kemične inertnosti CVD SiC pri visokih temperaturah. Ta zanesljiva odpornost proti koroziji učinkovito podaljšuje njihovo življenjsko dobo in znižuje stroške zamenjave komponent.

5. Natančna natančnost obdelave

Da bi zagotovili združljivost z različnimi cevmi za peč, lahko Semicorex prilagodi rebra iz trdnega silicijevega karbida glede na zahteve kupcev glede premera, debeline, velikosti lukenj, ravnosti in toleranc dimenzij. Ta visokostandardna natančnost obdelave zagotavlja stabilno delovanje reber v opremi in pomaga optimizirati splošno učinkovitost aplikacij za toplotno obdelavo polprevodnikov.