CVD tuš glava s prevleko SiC

Izdelana iz grafita visoke čistosti in obdana s tanko plastjo SiC po metodi CVD, glava tuša CVD s prevleko SiC Coat združuje ugodne lastnosti grafita in SiC. Rezultat te sinergije je komponenta, ki ne blesti le pri zagotavljanju dosledne in natančne distribucije plinov, ampak se ponaša tudi z izjemno odpornostjo proti toplotnim in kemičnim obremenitvam, ki se pogosto pojavljajo v okoljih za usedanje.

Ključ do funkcionalnosti glave prhe CVD s prevleko SiC je njena sposobnost enakomernega razprševanja predhodnih plinov po površini podlage, kar je naloga, ki jo dosežemo s strateško postavitvijo nad podlago in natančno zasnovo majhnih lukenj ali šob, ki razčlenjujejo njeno površino. Ta enotna porazdelitev je ključna za doseganje doslednih rezultatov odlaganja.

Izbira SiC kot prevlečnega materiala za glavo prhe CVD s prevleko SiC ni poljubna, ampak temelji na njegovi vrhunski toplotni prevodnosti in kemični stabilnosti. Te lastnosti so bistvene za ublažitev akumulacije toplote med postopkom nanašanja in vzdrževanje enakomerne temperature po substratu, poleg zagotavljanja robustne zaščite pred jedkimi plini in težkimi pogoji, ki so značilni za procese CVD.

Prilagojena za izpolnjevanje posebnih zahtev različnih sistemov CVD in procesnih zahtev, zasnova glave prhe CVD s prevleko SiC zajema obliko plošče ali diska, opremljeno z natančno izračunanim nizom lukenj ali rež. glava tuša CVD z zasnovo SiC Coat zagotavlja ne le enakomerno porazdelitev plina, ampak tudi optimalne stopnje pretoka, ki so bistvenega pomena za postopek nanašanja, s čimer poudarja vlogo komponente kot veznega člena pri prizadevanju za natančnost in enotnost v postopkih nanašanja materiala.