CVD SiC prevlečena grafitna tuš glava

V plazemski napravi za jedkanje in kemično naparjevanje (CVD) materialov na rezine se procesni plini dovajajo v procesno komoro skozi grafitno prho, prevlečeno s CVD SiC. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) glava prhe, prevlečena z grafitom, je specializirana komponenta, ki se uporablja v različnih industrijskih procesih, kot sta kemično naparjevanje (CVD) in kemično naparjevanje s plazmo (PECVD). Ima ključno vlogo pri dovajanju predhodnih plinov ali reaktivnih snovi na površino substrata med temi postopki nanašanja.

Grafitna tuš glava s prevleko CVD SiC je izdelana iz grafita visoke čistosti in prevlečena s tanko plastjo SiC po metodi CVD. Grafitna tuš glava s prevleko CVD SiC združuje koristne lastnosti grafita in SiC, zaradi česar je bistvena komponenta v različnih postopkih nanašanja, kjer je potrebna natančna in enakomerna porazdelitev plina, skupaj z odpornostjo na visoke temperature in kemična okolja.

Lastnosti:

Kemična odpornost

Toplotna stabilnost

Gladka in enotna površina

Zmanjšana kontaminacija