Trdni CVD SiC obroči

Semicorex solidCVD SiCobroči so običajno nameščeni znotraj reakcijskih komor opreme za jedkanje, ki obdajajo elektrostatične vpenjalne glave in služijo kot procesna pregrada in vodnik energije. Lahko koncentrirajo plazmo v komori okoli rezine in preprečijo difuzijo plazme navzven ter tako zagotovijo primerno energijsko polje za natančen postopek jedkanja. To enakomerno in stabilno energijsko polje lahko učinkovito ublaži tveganja, kot so okvare rezin, zamik procesa in izguba izkoristka polprevodniške naprave zaradi neenakomerne porazdelitve energije in plazemskega popačenja na robu rezine.

Odlične materialne prednosti

Trdni CVD SiC obroči Semicorex so izdelani iz CVD SiC visoke čistosti, ki ponuja odlične materialne prednosti za popolno izpolnjevanje strogih zahtev glede visoke čistoče in visoke odpornosti proti koroziji v okoljih za jedkanje polprevodnikov.

1. Visoka čistost

Čistost Semicorex trdnih CVD SiC obročev lahko preseže 99,9999%, kar pomeni, da so obroči skoraj brez notranjih nečistoč. Ta izjemna čistost materiala močno preprečuje neželeno kontaminacijo polprevodniških rezin in procesnih komor zaradi sproščanja nečistoč med procesi jedkanja polprevodnikov.

2. Visoka odpornost proti koroziji

Semicorextrdni CVD SiC obročilahko ohranijo strukturno celovitost in stabilnost delovanja, tudi če so izpostavljeni močnim kislinam, alkalijam in plazmi zaradi vrhunske korozijske odpornosti CVD SiC, zaradi česar so idealne rešitve za težka okolja obdelave z jedkanjem.

3. Zanesljivo upravljanje toplote

CVD SiC ima visoko toplotno prevodnost in minimalen koeficient toplotnega raztezanja, zaradi česar trdni CVD SiC obroči Semicorex dosegajo hitro odvajanje toplote in ohranjajo odlično dimenzijsko stabilnost med delovanjem.

4. Izjemna enakomernost odpornosti

Semicorex trdni CVD SiC obroči zagotavljajo izjemno enakomernost odpornosti z RRG < 5 %.

Območja upornosti: nizka loč. (<0,02 Ω·cm), srednja loč. (0,2–25 Ω·cm), visoka ločljivost (>100 Ω·cm).

Natančna kontrola kakovosti

Semicorex trdni CVD SiC obroči so obdelani in pregledani v skladu s strogimi standardi, da bi v celoti izpolnili stroge zahteve glede natančnosti in kakovosti na področjih polprevodnikov in mikroelektronike.

Površinska obdelava: Natančnost poliranja je Ra < 0,1 µm; natančnost finega brušenja je Ra > 0,1 µm

Natančnost obdelave je nadzorovana znotraj ≤ 0,03 mm

Pregled kakovosti: Semicorex trdni CVD SiC obroči bodo podvrženi dimenzijskim meritvam, testiranju upornosti in vizualnemu pregledu, da se zagotovi, da je izdelek brez odrezkov, prask, razpok, madežev in drugih napak.