Fokusni obroči iz silicijevega karbida

Fokusni obročki iz silicijevega karbidaso običajno nameščeni v reakcijski komori opreme za jedkanje, nameščeni okoli podporne površine rezin elektrostatične vpenjalne glave. Ta ureditev namestitve lahko uspešno zapolni višinsko razliko med robom rezine in elektrodo, pri čemer se plazma v reakcijski komori osredotoči na površino rezine, da se doseže enakomerno jedkanje, in tudi prepreči difuzija plazme navzven od roba rezine, da se izognemo problemu prekomernega jedkanja roba rezine.

Visokokakovostne komponente za jedkanje lahko zagotovijo stabilno okolje električnega polja za postopek jedkanja. Semicorexovi fokusni obroči iz silicijevega karbida so izdelani iz visoko zmogljivihmateriali iz silicijevega karbidas kemičnim nanašanjem iz pare. Naši fokusni obroči so zmožni prilagoditi porazdelitev električnega polja okoli rezine, kar znatno zmanjša odstopanja pri jedkanju ali praznjenje, ki jih povzročajo neenakomerna električna polja.

Polprevodniške rezine so zlahka dovzetne za kontaminacijo z delci, zato je treba procese plazemskega jedkanja izvajati v ultra čistih reakcijskih komorah za ionsko jedkanje. Fokusni obroči iz silicijevega karbida kot primarna komponenta opreme za jedkanje pridejo med dejanskim delovanjem v neposreden stik z robom rezine, kar je potrebno tudi za izpolnjevanje izjemno visokih standardov čistoče. Semicorexovi žarilni obroči iz silicijevega karbida nudijo prednosti visoke čistosti in nizke vsebnosti nečistoč, ki lahko natančno izpolnjujejo stroge zahteve glede čistosti postopkov jedkanja polprevodnikov. To močno prispeva k zmanjšanju napak na rezinah in izboljša izkoristek proizvodnje rezin.

Med postopkom plazemskega jedkanja se v reakcijsko komoro vnesejo plini za jedkanje, kot sta fluor in kisik. Odpornost opreme za jedkanje proti kemični koroziji je resno ogrožena zaradi dolgotrajne korozije, ki jo povzročajo procesni plini. S svojo vrhunsko odpornostjo na plazemsko korozijo je silicijev karbid optimalna izbira materiala za izdelavo obroča za fokusiranje. Z zmanjšanjem možnosti poškodb komponent zaradi korozije in zmanjšanjem potrebe po pogosti zamenjavi in ​​vzdrževanju lahko fokusni obroči iz silicijevega karbida znatno povečajo učinkovitost proizvodnje polprevodniških rezin.