Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Semicorex je zaupanja vreden dobavitelj in proizvajalec grafitnega suceptorja s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe industrije polprevodnikov pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Izdelek se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je ugleden dobavitelj in proizvajalec grafitne satelitske platforme MOCVD s prevleko iz SiC. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe industrije polprevodnikov pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Izdelek se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je priznani proizvajalec in dobavitelj visokokakovostne plošče MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe polprevodniške industrije, zlasti pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Naš susceptor se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Izdelek je zelo odporen na visoko vročino in korozijo, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je vodilni dobavitelj in proizvajalec MOCVD susceptorja za epitaksialno rast. Naš izdelek se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov, zlasti pri rasti epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Naš susceptor je zasnovan tako, da se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD, z zasnovo v obliki zobnika ali obroča. Izdelek ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, zaradi česar je stabilen v ekstremnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je vodilni proizvajalec in dobavitelj MOCVD susceptorja s prevleko iz SiC. Naš izdelek je posebej zasnovan za polprevodniško industrijo za rast epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Grafitni nosilec visoke čistosti, prevlečen s silicijevim karbidom, se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Naš suceptor se pogosto uporablja v opremi MOCVD, saj zagotavlja visoko toplotno in korozijsko odpornost ter veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnih susceptorjev, prevlečenih s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naš grafitni susceptor s prevleko iz SiC za MOCVD ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.
Preberi večPošlji povpraševanje