Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Semicorexova grafitna nosilna plošča RTP je popolna rešitev za aplikacije obdelave polprevodniških rezin, vključno z epitaksialno rastjo in obdelavo obdelave rezin. Naš izdelek je zasnovan tako, da nudi vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enotnost, kar zagotavlja, da so epitaksijski suceptorji izpostavljeni okolju nanašanja z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex RTP SiC Coating Carrier ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilec prevleke Semicorex RTP/RTA SiC je zasnovan tako, da prenese najtežje pogoje okolja nanašanja. S svojo visoko toplotno in korozijsko odpornostjo je ta izdelek zasnovan tako, da zagotavlja optimalno delovanje za epitaksialno rast. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilna plošča Semicorex SiC Graphite RTP za MOCVD ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC prevlečena RTP nosilna plošča za epitaksialno rast je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Ta izdelek je s svojimi visokokakovostnimi ogljikovimi grafitnimi sprejemniki in kremenčevimi lončki, obdelanimi z MOCVD na površini grafita, keramike itd., idealen za ravnanje z rezinami in obdelavo epitaksialne rasti. Nosilec s prevleko iz SiC zagotavlja visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je zanesljiva izbira za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnih susceptorjev, prevlečenih s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Semicorex grafitni suceptor, zasnovan posebej za epitaksijsko opremo z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo na Kitajskem. Naš RTP RTA SiC Coated Carrier ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.
Preberi večPošlji povpraševanje