Komponenta ICP, prevlečena s SiC

Semicorex-ova komponenta ICP, prevlečena s SiC, je zasnovana posebej za postopke ravnanja z rezinami pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S fino prevleko iz kristalov SiC naši nosilci zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex-ova komponenta ICP, prevlečena s SiC, je najboljša izbira za postopke ravnanja z rezinami, ki zahtevajo odpornost na visoke temperature in kemikalije. Naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč zahvaljujoč našemu finemu kristalu SiC. S fino prevleko iz kristalov SiC naši nosilci zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naša komponenta ICP, prevlečena s SiC, ima cenovno ugodnost in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o naši komponenti ICP, prevlečeni s SiC.

Parametri komponente ICP, prevlečene s SiC

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300