Homoepitaksija in heteroepitaksija igrata ključno vlogo v znanosti o materialih. Homoepitaksija vključuje rast kristalne plasti na substratu iz istega materiala, kar zagotavlja minimalne napake zaradi popolnega ujemanja rešetk. Nasprotno pa heteroepitaksija zraste kristalno plast na substratu iz dru......
Preberi večDa bi dosegli visokokakovostne zahteve procesov vezij IC čipov s širinami linij, manjšimi od 0,13 μm do 28 nm za silicijeve polirne rezine s premerom 300 mm, je bistveno čim bolj zmanjšati kontaminacijo zaradi nečistoč, kot so kovinski ioni, na površini rezin.
Preberi več