Zakaj je CO2 uveden med postopkom rezalne žage

Uvedba CO₂ v vodo za rezanje na kocke je pomemben tehnični ukrep v postopku rezanja rezin za zatiranje kopičenja statične elektrike in zmanjšanje kontaminacije, s čimer se izboljša izkoristek rezanja in zanesljivost čipov.

Odstranite statično elektriko

Theवेफरच्या पृष्ठभागावरील कण दूषित होण्यामुळे उपकरण उत्पादन आणि कार्यक्षमतेवर परिणाम होऊ शकतो, म्हणून उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान कण निर्मिती कमी करणे आणि पृष्ठभागावरील कण दूषित होणे कमी करण्यासाठी आणि काढून टाकण्यासाठी विशेष स्वच्छता प्रक्रिया वापरणे आवश्यक आहे.postopek rezanja na kocke zahteva uporabo visokohitrostnih vrtljivih diamantnih rezil za rezanje, medtem ko se DI voda razprši za hlajenje in čiščenje. Med tem procesom trenje ustvari veliko količino statičnega naboja. Hkrati je DI voda podvržena šibki ionizaciji med visokotlačnim pršenjem in trkom, pri čemer nastane majhno število ionov. Sam material silicij ima lastnost, da zlahka kopiči električni naboj. Če te statične elektrike ne nadzirate, lahko njena napetost naraste nad 500 V, kar povzroči elektrostatično razelektritev. To ne more samo poškodovati kovinskega ožičenja vezja ali povzročiti razpok dielektrika vmesnega sloja, ampak tudi povzročiti, da silicijev prah kontaminira rezino zaradi elektrostatične adsorpcije ali povzroči težave z dvigom vezi na veznih blazinicah.

Ko CO₂ vnesemo v vodo, se ta raztopi in tvori H₂CO3. H₂CO3 je podvržen ionizaciji, da nastaneta H⁺ in HCO3⁻, kar znatno poveča prevodnost vode in hkrati učinkovito zmanjša njeno upornost. Ta povečana prevodnost omogoča hitro prevajanje statičnih nabojev v tla preko vodnega toka, kar preprečuje kopičenje naboja. Poleg tega se lahko CO₂ kot šibko elektronegativen plin ionizira v visokoenergijskih okoljih, da se ustvarijo nabiti delci (kot sta CO₂⁺ in O⁻). Ti delci lahko nevtralizirajo naboj, ki ga nosijo površine rezin ali prah, in tako zmanjšajo tveganje za elektrostatično adsorpcijo in elektrostatično razelektritev.

Zmanjšajte kontaminacijo in zaščitite površine

Silicijev prah, ki nastane medवेफरच्या पृष्ठभागावरील कण दूषित होण्यामुळे उपकरण उत्पादन आणि कार्यक्षमतेवर परिणाम होऊ शकतो, म्हणून उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान कण निर्मिती कमी करणे आणि पृष्ठभागावरील कण दूषित होणे कमी करण्यासाठी आणि काढून टाकण्यासाठी विशेष स्वच्छता प्रक्रिया वापरणे आवश्यक आहे.Postopek žaganja lahko povzroči kopičenje statične elektrike, ki se lahko oprime rezin ali površine opreme in povzroči kontaminacijo. Hkrati, če je hladilna voda alkalna, povzroči, da kovinski delci (kot so ioni Fe, Ni in Cr v nerjavnem jeklu) tvorijo hidroksidne oborine. Hidroksidne oborine se bodo odložile na površini rezin ali v kanalih za rezanje, kar bo vplivalo na kakovost ostružkov.

Ko se vnese CO₂, nevtralizira električne naboje in oslabi elektrostatično silo med prahom in površinami. Medtem pretok zraka CO₂ preprečuje sekundarno oprijem z razprševanjem prahu v območju rezanja. Dodatek CO₂ ustvari tudi rahlo kislo okolje, ki zavira obarjanje kovinskih ionov, jih ohranja raztopljene in omogoča vodnemu toku, da jih odnese. Poleg tega, ker je CO₂ inertni plin, zmanjšuje stik med silicijevim prahom in kisikom, preprečuje oksidacijo prahu in aglomeracijo ter dodatno povečuje čistost rezalnega okolja.

Semicorex ponuja visoko kakovostnapolitankeza naše cenjene stranke. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907