Ročni obroči

Polkovni robni obroči so kritični del celotnega procesa proizvodnje polprevodnikov, zlasti za aplikacije za predelavo rezin, vključno z jedcem v plazmi in kemičnim odlaganjem hlapov (CVD). Ognjeni obroči so zasnovani tako, da obkrožajo zunanji obod polprevodniške rezine, da se enakomerno porazdelijo energijo, hkrati pa izboljšajo stabilnost procesa, donos rezin in zanesljivost naprav. Naši robni obroči so izdelani iz silicijevega karbida s kemičnim nanašanjem s kemičnim hlapom (CVD SIC) in so zgrajeni za zahtevna procesna okolja.

Vprašanja se pojavljajo med plazemskimi procesi, pri katerih energetska neenakomernost in izkrivljanje plazme na robu rezin ustvarjajo tveganje za napake, odvajanje procesov ali izgubo donosa. Obroči obročki to tveganje zmanjšujejo z osredotočanjem in oblikovanjem energetskega polja okoli zunanjega oboda rezin. OBLIKOVNI PROSTOR sedijo tik zunaj zunanjega roba rezin in delujejo kot procesne ovire in energetski vodniki, ki zmanjšujejo robne učinke, zaščitijo rob rezin pred prekomernim pripisom in zagotavljajo bistveno dodatno enakomernost po površini rezin.

Materialne prednosti CVD SIC:

Naši robni obroči so izdelani iz CVD SIC z visoko čistočo, ki je edinstveno zasnovana in zasnovana za ostra procesna okolja. Za CVD SIC je značilna izjemna toplotna prevodnost, visoka mehanska trdnost in odlična kemična odpornost - vsi atributi, zaradi katerih je CVD SIC izbran material za polprevodniške aplikacije, ki zahtevajo trajnost, stabilnost in nizko kontaminacijo.

Visoka čistost: CVD sic ima skoraj nič nečistoče, kar pomeni, da ne bo le malo ustvarjenih delcev in nobene kontaminacije kovine, ki je ključnega pomena za napredne polprevodnike vozlišč.

Toplotna stabilnost: Material vzdržuje dimenzijsko stabilnost pri povišanih temperaturah, kar je ključnega pomena za pravilno namestitev rezin v njegov plazemski položaj.

Kemična inertnost: inertna je v korozivni plini, kot so tisti, ki vsebujejo fluor ali klor, ki se običajno uporabljajo v okolju plazemskega jedka in procesov CVD.

Mehanska trdnost: CVD sic lahko prenese pokanje in erozijo v obdobjih podaljšanega cikla, kar zagotavlja največjo življenjsko dobo in zmanjšuje stroške vzdrževanja.

Vsak robni obroč je po meri zasnovan tako, da ustreza geometrijskim dimenzijam procesne komore in velikosti rezine; Običajno 200 mm ali 300 mm. Oblikovalne tolerance se jemljejo zelo tesno, da se zagotovi, da se robni obroč uporabi v obstoječem procesnem modulu, brez potrebe po spremembi. Na voljo so geometrije po meri in površinske zaključke za izpolnjevanje edinstvenih zahtev OEM ali konfiguracij orodij.