Keramični fokusni obroči za polprevodnike

Semicorex keramikafokusni obročs for semiconductor so idealne rešitve, prilagojene za težke delovne pogoje plazemskega jedkanja. Med sofisticiranim postopkom jedkanja polprevodnikov je ključnega pomena natančen nadzor porazdelitve plazme, ki lahko zagotovi stabilnost komore za jedkanje in dosledno enakomernost jedkanja polprevodnikov. Kot nepogrešljive komponente, ki se uporabljajo v napredni opremi za jedkanje, so fokusni obroči običajno nameščeni okoli polprevodniških rezin in pridejo v neposreden stik z njimi. Delovanje fokusnih obročev neposredno vpliva na ponovljivost procesa, izkoristek izdelka in čas delovanja opreme.

Prednosti keramičnih fokusnih obročev Semicorex za polprevodnike

1. Ultra-visoka čistost materiala

Čistost našegaCVD SiCmaterial presega 99,9995 %. To lahko učinkovito prepreči kontaminacijo komore za jedkanje in polprevodniških rezin zaradi nezadostne čistosti materiala.

2. Izjemna odpornost proti koroziji

Keramični fokusni obroči Semicorex za polprevodnike so narejeni iz CVD SiC, ki se ponaša z odlično odpornostjo na oksidacijo, erozijo in kemično korozijo, še posebej pa je učinkovit proti procesnim plinom, kot sta HF in HCI, ter plazemskemu plinu.

3. Vrhunska zmogljivost odpornosti

Enakomernost upora keramičnih fokusnih obročev Semicorex za polprevodnike je manjša od 5 %.

Območja upornosti: nizka loč. (<0,02 Ω·cm), srednja loč. (0,2–25 Ω·cm), visoka ločljivost (>100 Ω·cm).

Funkcije keramičnih fokusnih obročev Semicorex za polprevodnike

1. Nadzirajte in poenotite robno električno polje in porazdelitev plazme

Keramični fokusni obroči Semicorex za polprevodnike lahko nadzirajo porazdelitev električnega polja znotraj komore za jedkanje in dosežejo bolj enoten plazemski ovoj okoli polprevodniških rezin, kar omogoča, da plazma navpično in enakomerno udari na površino rezin. Na ta način je mogoče močno zmanjšati učinek jedkanega roba in bistveno izboljšati natančnost jedkanja.

2. Zaščitite elektrostatično vpenjalno glavo

Brez zaščite fokusnih obročev v procesu jedkanja bo elektrostatična vpenjalna glava izpostavljena obstreljevanju in eroziji visokoenergijske plazme. Elektrostatične vpenjalne glave so izdelane iz dragih materialov z izjemno visokimi stroški zamenjave. Uporaba fokusnih obročev lahko učinkovito zmanjša plazemsko korozijo na elektrostatičnem vpenjalu in zmanjša stroške vzdrževanja in zamenjave elektrostatičnega vpenjala.