Zgornji polmesečni premaz TaC

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon je posebej zasnovana komponenta, prilagojena za doseganje visoko učinkovitih epitaksialnih procesov na področju proizvodnje polprevodnikov. TaC Coating Upper Halfmoon kos je zasnovan tako, da se brezhibno prilega epitaksialnim reaktorjem, kar zagotavlja izjemno vzdržljivost in stabilnost v ekstremnih pogojih.

Prevleka TaC ponuja odlično odpornost na visoke temperature, zaradi česar je prevleka TaC Upper Halfmoon idealna za zahtevna toplotna okolja epitaksialnih postopkov. To zagotavlja dosledno delovanje in dolgo življenjsko dobo ter zmanjšuje pogostost zamenjav in izpadov. Prevleka TaC Coating Upper Halfmoon lahko prenese jedke pline in kemikalije, ki se običajno uporabljajo pri epitaksialni rasti, ščiti celovitost komponente in ohranja čistost postopka.

Gladka in enakomerna prevleka iz TaC izboljša kakovost epitaksialnih plasti z zmanjšanjem napak in nečistoč. To prispeva k višji stopnji izkoristka in boljšim elektronskim lastnostim polprevodniških naprav. Kombinacija toplotne in kemične odpornosti podaljšuje življenjsko dobo TaC Coating Upper Halfmoon, kar zagotavlja stroškovno učinkovito rešitev za ohranjanje visoke prepustnosti in učinkovitosti pri izdelavi polprevodnikov.

Aplikacije:

Postopki visokotemperaturnega kemičnega naparjevanja (CVD).

Epitaksija iz silicijevega karbida (SiC) in galijevega nitrida (GaN).

Tehnične specifikacije:

Material: prevleka iz tantalovega karbida (TaC).

Temperaturno območje: do 2200°C

Kemična odpornost: odlična proti HF, HCl in drugim korozivnim plinom

Mere: Prilagodljive, da ustrezajo določenim modelom reaktorjev

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon je bistvena komponenta za doseganje visokokakovostnih epitaksialnih plasti z izboljšano učinkovitostjo in zmanjšanim tveganjem kontaminacije. Zaradi naprednih lastnosti materiala in natančnega inženiringa je dragocena prednost v industriji polprevodnikov, ki podpira proizvodnjo elektronskih naprav naslednje generacije.