TaC prevlečena cev

Moč Semicorex TaC Coated Tube je v sinergistični kombinaciji osnovnega materiala in specializiranega premaza:

Izotropna grafitna podlaga visoke čistosti:Jedro cevi s prevleko iz TaC je oblikovano iz izotropnega grafita ultra visoke čistosti, ki je znan po svoji odlični toplotni prevodnosti, nizkem toplotnem raztezanju in inherentni odpornosti na toplotni šok. Ta osnova zagotavlja robustno in stabilno platformo, ki je sposobna vzdržati hitra temperaturna nihanja in visoke toplotne obremenitve, značilne za obdelavo polprevodnikov.

Tantalov karbid---Ščit vzdržljivosti in inertnosti:Prevleka TaC, nanešena s CVD, preoblikuje grafitno podlago in ji daje izjemno trdoto, odpornost proti obrabi in kemično inertnost. Ta zaščitna plast deluje kot ovira pred agresivnimi plini, plazmo in reaktivnimi vrstami, ki nastanejo med izdelavo polprevodnikov, kar zagotavlja strukturno celovitost in dolgo življenjsko dobo cevi.

Ta edinstvena kombinacija materialov se pretvori v vrsto prednosti, ki so ključne za napredno proizvodnjo polprevodnikov:

Neprimerljiva temperaturna odpornost:TaC se ponaša z enim najvišjih tališč med vsemi znanimi materiali, ki presega celo silicijev karbid (SiC). Ta ekstremna temperaturna odpornost omogoča, da cev s prevleko iz TaC zanesljivo deluje v procesih, ki zahtevajo temperature nad 2500 °C, kar omogoča proizvodnjo polprevodniških naprav naslednje generacije z zahtevnimi toplotnimi proračuni.

Izjemno visoka čistost za nadzor kritičnih procesov:Ohranjanje neokrnjenih procesnih okolij je najpomembnejše pri izdelavi polprevodnikov. Uporaba grafita visoke čistosti in natančen postopek prevleke CVD zagotavljata minimalno sproščanje plinov ali nastajanje delcev iz cevi s prevleko iz TaC, kar preprečuje kontaminacijo, ki bi lahko ogrozila občutljive površine rezin in delovanje naprave.

Neomajna kemična odpornost:Kemična inertnost cevi s prevleko iz TaC zagotavlja izjemno odpornost na široko paleto korozivnih plinov, reaktivnih ionov in plazemskih okolij, ki se običajno uporabljajo v polprevodniških procesih, kot so jedkanje, nanašanje in žarjenje. Ta robustna kemična stabilnost pomeni podaljšano življenjsko dobo cevi, zmanjšane potrebe po vzdrževanju in nižje skupne stroške lastništva.

Izboljšana mehanska vzdržljivost za podaljšano življenjsko dobo:Močna vezna sila med prevleko TaC in grafitno podlago, skupaj z inherentno trdoto cevi, prevlečene s TaC, zagotavlja izjemno odpornost proti obrabi, eroziji in mehanskim obremenitvam. Ta izboljšana vzdržljivost pomeni daljšo življenjsko dobo in zmanjšan čas izpada zaradi zamenjave, izboljšanje učinkovitosti procesa in pretoka.