Sprejemni disk

Izdelan iz grafita visoke čistosti in prevlečen s plastjo silicijevega karbida (SiC) z uporabo tehnike MOCVD, Semicorex Susceptor Disc združuje izjemne toplotne lastnosti z izjemno kemično stabilnostjo. Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na visoke temperature in korozivne pogoje, kar je ključnega pomena za ohranjanje celovitosti susceptorskega diska v zahtevnih okoljih.

Poleg tega prevleka SiC na susceptorskem disku izboljša njegovo toplotno prevodnost, kar omogoča hitro in enakomerno porazdelitev toplote, ki je ključna za dosledno epitaksialno rast. Učinkovito absorbira in oddaja toploto ter zagotavlja stabilno, enakomerno temperaturo, ki je bistvena za nanašanje tankih filmov. Ta enotnost je ključnega pomena za doseganje visokokakovostnih epitaksialnih plasti, ki so bistvenega pomena za funkcionalnost in zmogljivost naprednih polprevodniških naprav.

Zasnova Susceptor Disc obravnava tudi izziv toplotnega raztezanja. Njegov minimalni koeficient toplotnega raztezanja zagotavlja močno vez z epitaksialnimi plastmi, kar zmanjšuje tveganje razpok zaradi toplotnega kroženja. Ta lastnost, skupaj z visokim tališčem Susceptor Disc in odlično odpornostjo proti oksidaciji, omogoča zanesljivo delovanje v ekstremnih pogojih.

S temi naprednimi lastnostmi Susceptor Disc ne le izpolnjuje, ampak tudi presega stroge zahteve sodobnih aplikacij MOCVD, saj zagotavlja zanesljivo, visoko zmogljivo rešitev, ki povečuje splošno učinkovitost in rezultat procesa epitaksialne rasti.