Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Semicorex Vertical Silicon Boat je kritična komponenta, ki se uporablja v proizvodnih procesih polprevodnikov. Semicorex zagotavlja prilagojen navpični Silicon Boat z neprimerljivo kakovostjo in natančnostjo, prilagojeno strogim zahtevam industrije polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeTesnilni obroč Si3N4 podjetja Semicorex predstavlja pomemben napredek v keramičnem inženiringu, izdelan iz Si3N4, izjemnega anorganskega materiala. Ta keramika je znana po svoji edinstveni lastnosti, da se med procesom sintranja ne krči, kar zagotavlja dimenzijsko stabilnost in konsistenco.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Alumina Fastener je sestavni del konstrukcije opreme, ki se uporablja pri kemičnem naparjevanju (CVD), ionski implantaciji, fotolitografiji in proizvodnji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeGred črpalke Semicorex SiC izstopa po svoji neprimerljivi zmogljivosti in zanesljivosti kot sestavni del magnetnih črpalk, oklopnih črpalk, večstopenjskih črpalk, hidravličnih črpalk, kemičnih črpalk in centrifug.
Preberi večPošlji povpraševanjeKeramični lonček AlN, ki ga je predstavil Semicorex, je zasnovan tako, da vzdrži ekstremne pogoje, nepogrešljivo orodje za profesionalce, ki delajo z neželeznimi kovinami in polprevodniškimi materiali, kot je galijev arzenid.
Preberi večPošlji povpraševanjeAlumina Boat proizvajalca Semicorex najde svojo nišo v industriji polprevodnikov, splošnih strojih in visokotemperaturnih procesih, kar se je izkazalo za nepogrešljivo za strokovnjake, ki iščejo zanesljivost in natančnost.
Preberi večPošlji povpraševanje