SiC več žepni sprejemnik

Osnova Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor je izotropni grafit ultra visoke čistosti, znan po svoji toplotni stabilnosti in odpornosti na toplotni šok. Ta osnovni material je dodatno izboljšan z nanosom natančno kontrolirane prevleke SiC, nanešene s CVD. Ta kombinacija prinaša edinstveno sinergijo lastnosti:

Kemična odpornost brez primere:Površinski sloj SiC kaže izjemno odpornost proti oksidaciji, koroziji in kemičnim napadom tudi pri povišanih temperaturah, ki so značilne za procese epitaksialne rasti. Ta inertnost zagotavlja, da SiC Multi Pocket Susceptor ohranja svojo strukturno celovitost in kakovost površine, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije in zagotavlja podaljšano življenjsko dobo delovanja.

Izjemna toplotna stabilnost in enakomernost:Inherentna stabilnost izotropnega grafita, skupaj z enakomerno prevleko SiC, zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote po površini suceptorja. Ta enakomernost je najpomembnejša pri doseganju homogenih temperaturnih profilov po rezini med epitaksijo, kar se neposredno prevede v vrhunsko rast kristalov in enakomernost filma.

Izboljšana učinkovitost procesa:Robustnost in dolgoživost SiC Multi Pocket Susceptorja prispevata k večji učinkovitosti procesa. Zmanjšani časi izpadov zaradi čiščenja ali zamenjave pomenijo večjo pretočnost in nižje skupne stroške lastništva, kar sta ključna dejavnika v zahtevnih okoljih izdelave polprevodnikov.

Vrhunske lastnosti SiC Multi Pocket susceptorja neposredno pomenijo oprijemljive prednosti pri izdelavi epitaksialnih rezin:

Izboljšana kakovost rezin:Izboljšana enakomernost temperature in kemična inertnost prispevata k zmanjšanju napak in izboljšani kakovosti kristalov v epitaksialni plasti. To neposredno pomeni izboljšano zmogljivost in izkoristek končnih polprevodniških naprav.

Povečana zmogljivost naprave:Zmožnost doseganja natančnega nadzora nad profili dopinga in debelino plasti med epitaksijo je ključnega pomena za optimizacijo delovanja naprave. Stabilna in enotna platforma, ki jo zagotavlja SiC Multi Pocket Susceptor, proizvajalcem omogoča natančno nastavitev značilnosti naprave za posebne aplikacije.

Omogočanje naprednih aplikacij:Ker se industrija polprevodnikov usmerja k manjšim geometrijam naprav in bolj zapletenim arhitekturam, povpraševanje po visoko zmogljivih epitaksialnih rezinah še naprej narašča. Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor igra ključno vlogo pri omogočanju teh napredkov z zagotavljanjem potrebne platforme za natančno in ponovljivo epitaksialno rast.