Polprevodniški kvarčni zvonček

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar je običajno izdelan iz sintetičnega taljenega kremena, materiala, ki je znan po svoji izjemni čistosti, odpornosti na visoke temperature in lastnostih nizke toplotne ekspanzije. To zagotavlja, da komora ne vnaša kontaminantov ali nečistoč v proces izdelave polprevodnikov.

Polprevodniški kvarčni zvončasti kozarec je običajno valjaste ali kupolaste oblike, z ravnim ali rahlo ukrivljenim podstavkom za namestitev polprevodniških rezin ali substratov. Ima natančno izdelan, zrakotesen tesnilni mehanizem, kot je prirobnica ali tesnilo O-obroč, za vzdrževanje vakuuma ali nadzorovane atmosfere v komori med obdelavo.

Semiconductor Quartz Bell Jar ponuja odlično optično jasnost, ki operaterjem omogoča vizualno spremljanje procesov v komori brez ogrožanja natančnosti ali vnašanja motenj. Kremen je zelo odporen na kemične napade večine kislin, baz in topil, ki se običajno uporabljajo v postopkih izdelave polprevodnikov. To zagotavlja celovitost komore in preprečuje kontaminacijo substratov.

Kvarc ima visoko tališče in toplotno stabilnost, kar omogoča, da Semiconductor Quartz Bell Jar prenese povišane temperature, do katerih pride med postopki nanašanja ali žarjenja, brez deformacije ali degradacije.

Aplikacije:

Nanašanje: Polprevodniški kvarčni zvončasti kozarci se uporabljajo v različnih tehnikah nanašanja, kot so kemično naparjevanje (CVD), fizično naparjevanje (PVD) in atomsko plastno nanašanje (ALD) za natančno in enakomerno nanašanje tankih plasti materialov na polprevodniške podlage.

Jedkanje: Uporabljajo se v postopkih plazemskega jedkanja za selektivno odstranjevanje materiala iz polprevodniških rezin, kar ustvarja zapletene vzorce in strukture z visoko natančnostjo in ponovljivostjo.

Žarjenje: zvonasti kozarci se uporabljajo v postopkih žarjenja, da se polprevodniške rezine podvržejo nadzorovani toplotni obdelavi, kar olajša kristalizacijo, aktivacijo dopanta in razbremenitev napetosti v nanesenih filmih.