15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar je zasnovan za spopadanje s temi izzivi in zagotavlja visoko zmogljivo rešitev za serijsko obdelavo srednjega do velikega obsega, kjer sta toplotna enakomernost in čistost materiala bistvenega pomena za maksimiranje izkoristka. V industriji polprevodnikov in tankoslojnih industrijah je celovitost procesne komore najpomembnejša. Ko se velikosti rezin povečujejo in vozlišča krčijo, se zahteva po čistem, stabilno in kemično inertno okolje postane nedostopno.

1. Znanost o materialih: Čistost taljenega silicijevega dioksida

Osnova našega zvonastega kozarca je visoke čistostikremen (kremen). Za razliko od standardnega stekla je kremen skoraj v celoti sestavljen iz SiO2, kar zagotavlja edinstvene lastnosti, ki so ključne za izdelavo polprevodnikov:

Izjemno nizka kontaminacija: naš kremen je obdelan tako, da zmanjša kovinske elemente v sledovih (kot so Al, Fe, Na in K) na raven delcev na milijardo (ppb). To preprečuje difuzijo nečistoč v rezino med visokotemperaturnimi cikli, kar zagotavlja električno celovitost naprav.

Vrhunska odpornost na toplotne udarce: kremen ima koeficient toplotnega raztezanja (CTE) skoraj nič. To omogoča, da 15" Quartz Bell Jar prenese hitro naraščanje temperature in gašenje brez nevarnosti zloma ali strukturne utrujenosti - kritična zahteva za visoko zmogljive reaktorje.

Odlična kemična inertnost: kremen je zelo odporen na večino kislin (z izjemo fluorovodikove kisline) in korozivnih procesnih plinov, kar zagotavlja, da se komora med agresivnim jedkanjem ali cikli nanašanja ne razgradi ali izpusti plina.

2. Natančno inženirstvo in optična jasnost

15" Quartz Bell Jar zagotavlja največjo prostornino in optimalno dinamiko pretoka plina za serijsko obdelavo rezin. Kozarec ima navpični dimnik (znan tudi kot vrat), ki je optimalno oblikovan za zagotavljanje dovoda plina ali pomoč pri ekstrakciji plina skozi vakuum iz kozarca, kar je prikazano na zgornji sliki.

Optična prosojnost - visoka stopnja prenosakremenčev materialoddajanje valovnih dolžin v ultravijoličnem, vidnem in infrardečem območju spektra omogoča obdelavo v realnem času kot tudi uporabo zunanjih grelnikov žarnic za hitro termično obdelavo (RTP).

Ojačane tesnilne površine – vrat kozarca ima posebej razvito neprozorno belo tesnilo (imenovano tudi brušeni spoj), ki zagotavlja hermetično (zračno zatesnjeno) in vakuumsko tesno povezavo med osnovno ploščo reaktorja in kozarcem.

Žarjenje za lajšanje napetosti – vsi 15-palčni kvarčni zvončasti kozarci so podvrženi strogemu termičnemu žarjenju, da se razbremeni notranja mehanska obremenitev, ki je nastala na kozarcu z mehanskim postopkom pihanja ali oblikovanja kozarca, s čimer se znatno zmanjša možnost, da bi kozarec spontano odpovedal, ko bi ga postavili pod vakuumsko obremenitev.

3. Kritične aplikacije v polprevodniških tovarnah

Naš 15" Quartz Bell Jar je posebej zasnovan za integracijo v naslednje procese visoke vrednosti:

Silicijeva epitaksija: Zagotavljanje prozorne, nereaktivne posode za gojenje visokokakovostnih plasti monokristalnega silicija.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Odporen na jedko okolje plazme in hkrati ohranja visoko dielektrično trdnost.

Difuzija in oksidacija: služi kot čista komora z visoko temperaturo za tvorbo oksidov vrat in vnos dopantov.

Proizvodnja predoblik optičnih vlaken: idealno za nanašanje silicijevega dioksida visoke čistosti pri proizvodnji posebnega stekla.

Pri Semicorexu ravnamo z vsakim zvončastim kozarcem kot z delom natančne laboratorijske opreme. Naš postopek vključuje: Strogo pridobivanje materiala s preverjeno elektronsko kakovostjokremeningoti; napredna izdelava, ki združuje tradicionalne veščine pihanja stekla s CNC-kontroliranim brušenjem in poliranjem; in natančen pregled z uporabo polarizirane svetlobe za odkrivanje preostale napetosti in lasersko interferometrijo za natančne dimenzionalne preglede.