Kremenčev rezervoar za mokro obdelavo

Quartz Tank za mokro obdelavo, izdelan iz polprevodniškega kremena, nudi izjemno vzdržljivost in nereaktivnost na različne kemije, vključno z žveplovo kislino (H2SO4), vodikovim peroksidom (H2O2) in standardnimi čistimi raztopinami (SC1).

Ena od primarnih aplikacij kvarčnega rezervoarja za mokro obdelavo pri izdelavi rezin je čiščenje rezin. Med različnimi koraki izdelave so lahko rezine zamaskirane, da se vrežejo določeni deli ali da se difuzija omeji na določena območja. Ko je določen korak postopka končan, je treba maskirni material temeljito očistiti, da se rezina pripravi za naslednji korak. Kremenčev rezervoar za mokro obdelavo igra ključno vlogo v tem procesu čiščenja, saj zagotavlja, da so rezine učinkovito očiščene, ne da bi pri tem ostali ostanki ali delci, ki bi lahko onesnažili naslednje korake obdelave.

Sposobnost rezervoarja Quartz the Tank for Wet Processing, da se upre agresivnim kemikalijam, je najpomembnejša pri aplikacijah za mokro obdelavo. Ti rezervoarji so zasnovani tako, da prenesejo močne kemikalije, ki se uporabljajo v postopkih jedkanja in čiščenja, ne da bi z njimi reagirali. Ta nereaktivnost zagotavlja, da kemikalije ostanejo učinkovite in da ne pride do neželenih kemičnih reakcij, ki bi lahko ogrozile celovitost rezin.

Pri postopkih čiščenja rezin je bistveno zmanjšati kontaminacijo rezin z delci. Semicorex Quartz Tank for Wet Processing je zasnovan tako, da zmanjša tveganje kontaminacije in zagotavlja, da so rezine očiščene temeljito in učinkovito. Naše kvarčne posode je mogoče dobaviti v ogrevanih in recirkulacijskih modelih, ki omogočajo natančen nadzor temperature in neprekinjeno kroženje čistilnih raztopin.

Druga kritična lastnost Semicorex Quartz Tank for Wet Processing je visoka toplotna odpornost. Ti rezervoarji lahko delujejo pri temperaturah do 190 °C, kar je primerno za postopke, ki vključujejo segrevanje raztopin za čiščenje ali jedkanje. Visoka toplotna odpornost zagotavlja, da rezervoarji ohranijo svojo strukturno celovitost in zmogljivost tudi pri povišanih temperaturah. To je še posebej pomembno pri procesih, kjer je nadzor temperature ključnega pomena za doseganje želenih rezultatov.

Kvarčni rezervoar za mokro obdelavo izkazuje tudi nizko toplotno raztezanje in visoko odpornost na toplotne udarce. Nizka toplotna ekspanzija zmanjša tveganje za razpoke ali deformacije zaradi temperaturnih nihanj, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo in zanesljivost rezervoarjev. Visoka odpornost na toplotne šoke omogoča kvarčnim rezervoarjem, da prenesejo hitre temperaturne spremembe, ne da bi pri tem ogrozili njihovo strukturno celovitost. Te toplotne lastnosti so bistvene za ohranjanje natančnosti in zanesljivosti korakov mokre obdelave pri izdelavi rezin.

Visoka preglednost je še ena prednost Semicorex Quartz Tank for Wet Processing. Prozornost kremenčevega materiala omogoča vizualni pregled rezin in raztopin za čiščenje ali jedkanje med obdelavo. Ta vidnost izboljšuje nadzor nad procesom in spremljanje ter zagotavlja, da je morebitne težave mogoče odkriti in takoj obravnavati. Sposobnost vizualnega spremljanja procesa je še posebej pomembna za zagotavljanje kakovosti in doslednosti korakov čiščenja in jedkanja rezin.

Pri Semicorexu uporabljamo napredno tehnologijo strojne obdelave za izdelavo visokokakovostnega kvarčnega rezervoarja za mokro obdelavo. Naše proizvodne zmogljivosti vključujejo diamantno rezilo in lasersko rezanje na velikost, kar zagotavlja natančne dimenzije in visokokakovostne zaključke. Uporabljamo tudi visoko polirane površine, da zmanjšamo tveganje nastanka delcev in kontaminacije. Naši izkušeni kremenčevi varilci in strojniki ustvarjajo kremenčeve rezervoarje visoke čistosti z visoko trdnimi varjenimi vstopnimi odprtinami in držali za sonde, prilagojene posebnim potrebam naših strank.

Za izboljšanje učinkovitosti in vzdržljivosti kvarčnih rezervoarjev za mokro obdelavo jih žarimo, da zmanjšamo toplotno obremenitev. Žarjenje je postopek toplotne obdelave, ki zmanjša notranje napetosti v kremenčevem materialu, izboljša njegovo odpornost na toplotne šoke in poveča njegovo splošno vzdržljivost.

Velikosti in konfiguracije po meri so bistvenega pomena za izpolnjevanje različnih zahtev procesov izdelave polprevodnikov. Pri Semicorexu ponujamo široko paleto velikosti in konfiguracij po meri za naše kvarčne rezervoarje, kar nam omogoča, da zagotovimo rešitve, prilagojene posebnim potrebam naših strank. Ne glede na to, ali dodajamo visoko trdne varjene kvarčne odprtine, držala za sonde ali druge funkcije po meri, tesno sodelujemo z našimi strankami, da zagotovimo kvarčne rezervoarje, ki ustrezajo njihovim natančnim specifikacijam.