Krečavski rezervoar za shranjevanje tekočine

Podrežki za shranjevanje tekočine s kremenom je namenska posoda za polprevodniške mokre čiste uporabe, kjer je ravnanje s tekočino potrebno izjemno raven čistoče in stabilnosti materialov. Ta rezervoar se predvsem uporablja za zbiranje odpadkov ali preostalih tekočin iz aplikacij za čiščenje rezin. Je neprecenljiv za procesno produktivnost in nadzor kontaminacije. Med mokrim čistim postopkom polprevodniško izpiranje rezin vključuje velike količine ultravske vode ali kemičnih reagentov, ki na koncu izpiranja postanejo odpadna tekočina. Poleg tega je treba zbrati preostalo tekočino po izpiranju, ker ima morebitne nečistoče v sledovih ali dragocene kemične sestavine, ki ne smejo spustiti odtoka. Odpadno tekočino je treba zbrati tudi, ko se izvedejo koraki prevleke, kot so fotoresistične aplikacije, kjer je treba zbrati dodatne ostanke ali kemikalija. Tako ima rezervoar za shranjevanje tekočine iz kremena popolne rezultate, ki zagotavlja visoko čistost, kemično združljivost in nizke lastnosti onesnaževal.

Rezervoar je izdelan iz kremena z visokim čistosti, ki je zelo odporen na močne kisline, alkalije in topila, ki se redno uporabljajo pri čiščenju in litografiji polprevodnikov. Ne glede na to, ali je običajna posoda, Quartz daje koščkom tekočega materiala najboljša možnost, da brez sekundarne izpostavljenosti onesnaževalcu, izpiranju ali neželene izpostavljenosti ionov. Eden vodilnih vidikov rezervoarja za shranjevanje tekočine iz kremena je sposobnost podpore analitičnim delovnim tokom v polprevodniških Fabs, saj se lahko preostale tekočine, zbrane v kremenčevem posodi, uporabijo v postopkih na nižji stopnji, kot so odkrivanje nečistočenja, analiza onesnaženja in recikliranje kemikalij. Značilnim lastnosti kremena lahko varno vsebuje preostale tekočine in omogoči vizualno oceno brez tveganja interakcije glede na inersotnost in preglednost, poleg toplotne stabilnosti, kar omogoča, da se vsaka tekočina v rezervoarju rahlo pospeši za katero koli procesno temperaturo, ne da bi tvegali, da bi se razgradili ali vplivali na tekočino. Kljub temu je rezervoar za shranjevanje tekočine Quartz zasnovan tako za zbiranje odpadkov kot za kratkoročno skladiščenje, preden jih prenesejo ali obdelajo.

Vsaka podrobnost o zadevah nadzora nad kontaminacijo, še posebej, ker napredna vozlišča za proizvodnjo naprav krčijo in parametri čistosti postanejo strožji. Krečavski rezervoar za shranjevanje tekočine jamči, da upravljavci Fab so prepričani, da ravnanje z odpadki ne postane vir sekundarne kontaminacije. Z vsebuje preostale rešitve za čiščenje ali presežke procesne tekočine preprečuje, da bi se delovni tok navzgor in navzdol uveljavil veljavno. Poleg tega rezervoar podpira cilje trajnosti Fab, saj se zbrane tekočine lahko obdelajo za čiščenje in ponovno uporabo reagentov, s čimer se uporabi še en manj kemično intenziven postopek in ima za posledico manjši okoljski obremenitev.

S praktičnega stališča zasnova Quartz rezervoarja za shranjevanje tekočine omogoča, da se enostavno vključi v strojno čiščenje in sisteme za upravljanje s čiščenjem mokrega čiščenja. Faktor obrazca je lahko prilagojen obstoječim konfiguracijam orodij. Načini natančnosti izdelave zagotavljajo okrogle dimenzije in da bo gladka notranja površina zlahka prevažala in shranila vse tekočine v vašem polprevodniškem okolju Fab. Neporozna kremenčeva struktura bo preprečila absorpcijo onesnaževal in omogočila čiščenje rezervoarja, zaradi česar je sposoben za ponovno uporabo, za razliko od običajnih plastičnih zabojnikov, ki delujejo v kemičnih nadzorovanih okoljih pri pomembnih volumskih operacijah.

Bottom line, rezervoar za shranjevanje tekočine v Quartz je posebej zasnovan za pomen v vseh polprevodniških mokrih čiščenju in nanosih. Z ustvarjanjem najboljše možne čistosti materiala, kemijske odpornosti in brez kontaminacije v operativnem obratu polprevodnikov lahko Fabs učinkovito nadzoruje svoj postopek z malo do preveč nadziranja kontaminacije. Ne glede na to, ali Fab uporablja rezervoar za prejemanje neposrednega zbiranja odpadkov, za obnovitev reagenta itd. Ali za analizo nečistoč, zgodovina kritičnih korakov v postopku ostaja v izvirnem stanju, ne da bi pri tem ogrozila delovanje. Ko želite povečati donos, zmanjšati tveganje za vaš delovni postopek do izgube stabilnosti in povečati učinkovitost kemičnega upravljanja stranskih proizvodov, je brez kontaminacije edina izbira, ki ponuja zanesljive zmogljivosti z vsem mokrim čiščenjem.