Fokusni obroči so bistvene komponente za zagotavljanje enakomernosti in stabilnosti postopkov jedkanja polprevodnikov. Z natančnim nadzorom električnih in toplotnih polj lahko fokusni obroči koncentrirajo plazmo na površino rezine, kar zagotavlja dosledne rezultate jedkanja na vseh mestih na rezini.
Preberi večSilicijev karbid ima dobro kemično stabilnost in lahko prenese različne zelo jedke kisle in alkalne medije, zaradi česar je primeren za mehanska tesnila v jedkih medijih. Korozivna obraba je glavna oblika okvare materialov tornih parov. Vroče stisnjen sintrani silicijev karbid tvori zaščitni film si......
Preberi večOkvare delcev se nanašajo na drobne vključke delcev znotraj ali na polprevodniških rezinah. Lahko poškodujejo strukturno celovitost polprevodniških naprav in povzročijo električne napake, kot so kratki stiki in odprti tokokrogi. Ker lahko te težave, ki jih povzročajo okvare delcev, resno vplivajo n......
Preberi večVertikalne peči so navpično nameščene visokotemperaturne grelne naprave, posebej zasnovane za toplotno obdelavo pri proizvodnji polprevodnikov. Celoten navpični sistem peči je sestavljen iz cevi peči, odporne na visoke temperature, grelnega elementa, sistema za nadzor temperature, sistema za nadzor ......
Preberi večTrenutno se monokristalni silicij proizvaja z uporabo polikristalnega silicija kot surovine in po metodi Czochralskega. Pri proizvodnji monokristalnega silicija je kremenčev lonček kritičen material za taljenje silicija in rast kristalov ter neposredno in pomembno vpliva na proizvodne stroške in kak......
Preberi več