Kakšna je funkcija fokusnih obročev?

Fokusni obroči so bistvene komponente za zagotavljanje enakomernosti in stabilnosti postopkov jedkanja polprevodnikov. Z natančnim nadzorom električnih in toplotnih polj lahko fokusni obroči koncentrirajo plazmo na površino rezine, kar zagotavlja dosledne rezultate jedkanja na vseh mestih na rezini.

Funkcije fokusnih obročev

1. Izboljšajte enakomernost jedkanja

V procesu jedkanja lahko fokusni obroči koncentrirajo plazmo naoblatpovršino, ki učinkovito zagotavlja enakomerno gostoto plazme, kot obstreljevanja z ioni in nivoje energije tako na robu rezine kot v središču. Popravijo porazdelitev električnega polja na robu rezine, zmanjšajo hitrost jedkanja, kritične dimenzije in variacije morfologije, ki jih povzročijo robni učinki, s čimer zagotovijo doslednost jedkanja po celotni površini rezine. Če je obroč za fokusiranje preveč obrabljen ali ni žariščnega obroča, bo plazma difundirala z roba rezine, kar bo na koncu povzročilo neskladna odstopanja v širini črte med robnimi in središčnimi območji.

2. Zaščitite elektrostatično vpenjalno glavo

Fokusni obroči so običajno nameščeni zunaj nosilne površine rezin elektrostatičnih vpenjal, neposredno izpostavljeni plazemskemu obstreljevanju in koroziji. Ta nastavitev vgradnje služi kot fizična ovira, ki preprečuje, da bi plazma med postopkom jedkanja prišla v stik z elektrostatičnimi vpenjali, s čimer se znatno zmanjša tveganje poškodb zaradi plazme. Fokusni obroči lahko tudi preprečijo, da bi se stranski produkti, ki nastanejo med postopkom jedkanja, oprijeli elektrostatičnih vpenjal in se tako izognejo poslabšanju delovanja zaradi kontaminacije in zamašitve vpenjal. To močno podaljša vzdrževalni cikel in življenjsko dobo elektrostatičnih vpenjalnih klešč, kar zmanjša stroške vzdrževanja in zamenjave opreme.

Fokusni obroči so običajno izdelani iz materiala visoke čistostikremen, silicijinsilicijev karbidmaterialov. Zahvaljujoč odlični celoviti zmogljivosti materiali iz silicijevega karbida postopoma postanejo glavna možnost za najsodobnejše postopke jedkanja. Semicorex kot zaupanja vreden dobavitelj polprevodniškega fokusnega obroča na Kitajskem ponuja visoko kakovostfokusni obročki iz silicijevega karbidarazličnih velikosti, ki ustrezajo različnim zahtevam opreme za jedkanje. Semicorex kadar koli pozdravlja vaša povpraševanja in nakupe.