Monokristalni silicij Wafer Susceptor

Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor je idealna rešitev za grafitno epitaksijo in postopke ravnanja z rezinami. Naš ultra čist izdelek zagotavlja minimalno kontaminacijo in izjemno dolgo življenjsko dobo, zaradi česar je priljubljena izbira na številnih evropskih in ameriških trgih. Kot vodilni ponudnik nosilcev polprevodniških rezin na Kitajskem se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš epitaksialni susceptor iz monokristalnega silicija je grafitni izdelek, prevlečen s SiC visoke čistosti, ki ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Nosilec, prevlečen s silicijevim karbidom CVD, se uporablja v postopkih, ki tvorijo epitaksialno plast na polprevodniških rezinah. Ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, ki so bistvenega pomena za učinkovite in natančne postopke izdelave polprevodnikov.
Ena od ključnih značilnosti našega monokristalnega silicijevega susceptorja je njegova odlična gostota. Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo v visokotemperaturnih in korozivnih delovnih okoljih. Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ravno površino, kar je bistvenega pomena za ohranjanje visokokakovostne proizvodnje rezin.
Druga pomembna lastnost našega izdelka je njegova sposobnost zmanjšanja razlike v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida. To učinkovito izboljša trdnost lepljenja, preprečuje razpoke in razslojevanje. Poleg tega imata tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote med proizvodnim procesom.
Naš monokristalni silicij Wafer Susceptor je odporen tudi na visokotemperaturno oksidacijo in korozijo, zaradi česar je zanesljiv in vzdržljiv izdelek. Njegovo visoko tališče zagotavlja, da lahko prenese visokotemperaturno okolje, potrebno za učinkovito proizvodnjo polprevodnikov.
Skratka, Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor je izjemno čista, vzdržljiva in zanesljiva rešitev za grafitno epitaksijo in postopke ravnanja z rezinami. Zaradi odlične gostote, ravnosti površine in toplotne prevodnosti je idealen za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih. Ponosni smo na zagotavljanje visokokakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah in se veselimo sodelovanja z vami za vse vaše potrebe po nosilcu polprevodniških rezin.

Parametri monokristalnega silicijevega susceptorja

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti monokristalnega silicijevega susceptorja

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč