LPE Part

Deli Semicorex LPE so visoko zmogljive komponente, prevlečene s SiC, posebej zasnovane za uporabo v postopku epitaksije SiC. Te komponente so zasnovane tako, da prenesejo zahtevne pogoje rasti kristalov SiC, kar zagotavlja vrhunsko toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko trdnost. Ko izberete Semicorexove LPE dele, vam je zagotovljena izjemna vzdržljivost, natančnost in prilagojena rešitev za vaše potrebe postopka epitaksije SiC.

Deli Semicorex LPE so izdelani z naprednimi materiali in natančnimi proizvodnimi tehnikami, kar zagotavlja doslednost in zanesljivost v vsaki enoti. Fizikalne in kemijske lastnosti prevleke imajo stroge zahteve glede odpornosti na visoke temperature in odpornosti proti koroziji, kar neposredno vpliva na izkoristek in življenjsko dobo izdelka. SiC material ima visoko trdnost, visoko trdoto, nizek koeficient toplotnega raztezanja in dobro toplotno prevodnost. Je pomemben visokotemperaturni strukturni material in visokotemperaturni polprevodniški material. Nanaša se na grafitne podlage. Njegove prednosti so:

1) SiC je odporen proti koroziji in lahko popolnoma ovije grafitno osnovo ter ima dobro gostoto, da prepreči poškodbe zaradi jedkih plinov. 2) SiC ima visoko toplotno prevodnost in visoko trdnost lepljenja z grafitno osnovo, kar zagotavlja, da prevleke ni enostavno odpasti po večkratnih ciklih visokih in nizkih temperatur. 3) SiC ima dobro kemično stabilnost, da se prepreči okvara prevleke v visokotemperaturni in jedki atmosferi. Poleg tega epitaksialne peči iz različnih materialov zahtevajo grafitne pladnje z različnimi indikatorji delovanja. Ujemanje koeficienta toplotnega raztezanja grafitnih materialov zahteva prilagoditev na rastno temperaturo epitaksialne peči. Na primer, temperatura epitaksije silicijevega karbida je visoka in potreben je pladenj z visokim koeficientom toplotnega raztezanja. Koeficient toplotne razteznosti SiC je zelo blizu grafita, zaradi česar je primeren kot prednostni material za površinsko prevleko grafitne osnove.

Uporaba v procesu epitaksije SiC

Postopek epitaksije SiC je ključni korak v proizvodnji visokokakovostnih rezin SiC, ki se uporabljajo za polprevodniške naprave, vključno z močnostno elektroniko in optoelektroniko. Deli LPE, zlasti tisti s prevlekami iz SiC, igrajo bistveno vlogo pri natančnem nadzoru temperature in kemičnih reakcij v reaktorju. Te komponente so strateško nameščene v reaktorju, da olajšajo optimalno rast rezin, hkrati pa ohranjajo čistost in enotnost kristalov SiC.

Pri Semicorexu razumemo, da ima vsak postopek epitaksije SiC edinstvene zahteve. Zato je naše dele LPE mogoče popolnoma prilagoditi posebnim potrebam vašega delovanja. Ne glede na velikost, obliko ali debelino prevleke, naša ekipa inženirjev tesno sodeluje s strankami, da zagotovi komponente, ki optimizirajo njihove proizvodne procese.

Visokokakovostna prevleka SiC, ki je nanešena na naše dele, prav tako zagotavlja vrhunsko vzdržljivost. Za razliko od običajnih materialov ponuja SiC daljšo življenjsko dobo v težkih delovnih pogojih, kar zmanjša pogostost vzdrževanja in izpadov. Ta dolgoživost pomeni nižje operativne stroške in večjo učinkovitost za proizvajalce polprevodnikov.

Deli Semicorex LPE so zasnovani z natančnostjo in zasnovani tako, da izpolnjujejo stroge zahteve postopka epitaksije SiC. Naše komponente so izdelane z uporabo najnovejše tehnologije, kar zagotavlja neprimerljivo zmogljivost in dolgo življenjsko dobo. Z izbiro Semicorexa izberete partnerja, ki razume kompleksnost proizvodnje polprevodnikov in je zavezan zagotavljanju zanesljivih, visokokakovostnih izdelkov, ki izboljšujejo vaše proizvodne zmogljivosti.

Deli Semicorex LPE, z njihovimiSiC prevleka, so idealna izbira za izboljšanje učinkovitosti in dolgoživosti epitaksijskih reaktorjev SiC. Te komponente zagotavljajo vrhunsko toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko trdnost, s čimer zagotavljajo, da vaš proces rasti kristalov SiC poteka gladko in učinkovito. Z možnostmi prilagajanja, ki so na voljo, Semicorex ponuja prilagojeno rešitev, ki izpolnjuje vaše posebne procesne zahteve, zaradi česar smo zaupanja vreden partner za proizvajalce polprevodnikov po vsem svetu.