Epi-SiC receptor

Semicorex Epi-SiC Susceptor, ki združuje vzdržljivost pri visokih temperaturah, kemično inertnost in vrhunsko toplotno difuzijo, je vzornik odpornosti in učinkovitosti v intenzivnih pogojih, ki so sinonim za prizadevanja za epitaksialno rast. Uporaba SiC prevleke znatno poveča toplotne lastnosti Epi-SiC susceptorja. Ta izboljšava omogoča enakomerno porazdelitev toplote, ki je bistvenega pomena za segrevanje rezin, kar je ključnega pomena za nanašanje doslednih, visokokakovostnih epitaksialnih plasti na polprevodniške rezine.

Epi-SiC Susceptor, ki je prilagojen strogim zahtevam epitaksialnih postopkov rezin, podpira brezhiben transport rezin v okolju peči. Njegova robustna zasnova je branik pred premikom rezin ali kompromisom, s čimer ublaži pojav poškodb v kritičnih fazah razvoja epitaksialne plasti. Poleg tega Epi-SiC susceptor deluje kot zaščitna pregrada za grafitni substrat pod njim in ga ščiti pred kemičnimi interakcijami in abrazijo, ki bi jo lahko povzročili epitaksialni procesi.

Zlitje prožnega grafitnega jedra z zaščitno prevleko iz SiC ne le izboljša metriko učinkovitosti Epi-SiC Susceptorja, ampak tudi bistveno podaljša njegovo življenjsko dobo. Rezultat je naložba, ki prinaša dividende v obliki trajnih operativnih prihrankov za podjetja za proizvodnjo polprevodnikov, s čimer je Epi-SiC Susceptor razumna izbira za tiste, ki želijo optimizirati svoje proizvodne operacije.